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Optische Metrologie- und Inspektionssysteme sowie Services für die Halbleiterindustrie
EUMETRYS GmbH
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Über EUMETRYS
EUMETRYS ist ein auf optische Metrologie und Inspektion spezialisiertes Unternehmen für die Halbleiterindustrie. Das Portfolio umfasst IVS-Systeme für CD- und Overlay-Messung, Systeme zur Oberflächenkontaminationsanalyse (YGK), Photoluminescence-Mapping (ETAMAX PLATO), Klassifizierung von Kristalldefekten und Stacking Faults in SiC (MiPLATO SiC), Micro-LED-Review-Systeme sowie das All-in-one-Messsystem MICROSCAN für VIS- und NIR-Anwendungen. Neue und remanufacturierte Anlagen werden an Halbleiterhersteller und Labore vertrieben. Ergänzend bietet EUMETRYS präventive und kurative Wartung, mehrstufige Schulungen, Prozess- und Datenanalyse sowie Roboter-Services in Europa, Asien und Nordamerika an. Zielbranchen sind Standard- und Compound-Halbleiter (III-V), MEMS, LED, Substrate, Telekommunikation, VCSEL und Power Devices. Seit November 2022 besteht mit der EUMETRYS GmbH eine Tochtergesellschaft in Deutschland.
- Verfahren
- Optical Metrology (IVS, CD- und Overlay-Messung), Particles inspection / Oberflächenkontaminationsanalyse, Schichtdickenmessung (Layer thickness measurement), Photoluminescence (PL) Mapping / Mikro- und Makro-PL für VIS und NIR, Kristalldefekte- und Stacking-Fault-Klassifizierung, Micro LED Review, Prozessanalyse und Qualifizierung von Steppern, Präventive und kurative Wartung, Schulungen
- Werkstoffe
- SiC (Siliziumkarbid), III-V-Halbleiter, MEMS/LED-Substrate, Silizium-Halbleiterwafer, Inspectrology IVS (CD & Overlay), Oberflächenkontaminationsanalyse, PL-Mapping (ETAMAX), Kristalldefekt-Klassifizierung
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Compound-Halbleiter (III-V), MEMS, LED / Micro-LED, Substrate, Telekommunikation / Waveguides
- 01
Beratung und Prozessanalyse
- 02
Vertrieb neuer und remanufacturierter Metrologiesysteme
- 03
Inbetriebnahme und Qualifizierung
- 04
Präventive und kurative Wartung
- 05
Schulungen und Datenanalyse
Messsysteme & Verfahren
Inspectrology IVS (CD & Overlay)
Optisches Metrologiesystem für CD- und Overlay-Messung an Halbleiterwafern.
Oberflächenkontaminationsanalyse
Partikelinspektion an opaken und transparenten Substraten.
PL-Mapping (ETAMAX)
Mikro- und Makro-Photoluminescence-Mapping für VIS- und NIR-Anwendungen.
Kristalldefekt-Klassifizierung
Klassifizierung von Kristalldefekten und Stacking Faults in SiC.
Micro LED Review
Review-System für Micro-LED-Substrate.
All-in-one VIS/NIR-Messsystem
Kombiniertes Messsystem für VIS- und NIR-Anwendungen.
Systeme & Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Optical Metrology (IVS, CD- und Overlay-Messung)Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter Wafer, III-V-Halbleiter, SiC |
| Particles inspection / OberflächenkontaminationsanalysePrüfung | – | – | – | – | Undurchsichtige und transparente Substrate |
| Schichtdickenmessung (Layer thickness measurement)Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter Wafer |
| Photoluminescence (PL) Mapping / Mikro- und Makro-PL für VIS und NIRPrüfung | – | – | – | – | SiC, III-V-Halbleiter |
| Kristalldefekte- und Stacking-Fault-KlassifizierungPrüfung | – | – | – | – | SiC |
| Micro LED ReviewPrüfung | – | – | – | – | Micro LED Substrate |
| Prozessanalyse und Qualifizierung von SteppernEngineering | – | – | – | – | – |
| Präventive und kurative Wartung, SchulungenEngineering | – | – | – | – | – |
6 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Optisches Metrologie- und Inspektionssystem (CD & Overlay) | Eumetrys / Inspectrology IVS | – | – | – | – |
| Oberflächenkontaminationsanalyse-System | YGK | – | – | – | – |
| Photoluminescence-Mapping-System | ETAMAX PLATO | – | – | – | – |
| Kristalldefekt-/Stacking-Fault-Klassifizierungssystem | ETAMAX MiPLATO SiC | – | – | – | – |
| Micro LED Review-System | Eumetrys / ETAMAX MICRO LED | – | – | – | – |
| All-in-one VIS/NIR Messsystem | Eumetrys / ETAMAX MICROSCAN | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Historie
- 2020
Präsentation der Produkte über 3D-Virtual-Reality-Technologie auf der Website (Dezember 2020).
- 2022
CEO Yannick Bedin im Interview bei BFM Business TV, Sendung 'Décodage' (September 2022).
- 2022
Gründung der Tochtergesellschaft EUMETRYS GmbH in Deutschland (November 2022).