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Entwicklung, Fertigung und Inbetriebnahme von Nassbänken zum Ätzen und Reinigen sowie Carriern für Wafer und Substrate
exateq GmbH
Neumarkt i.d.OPf. (Hauptsitz, Fertigung und Endmontage)Neu auf Amplifa
Über exateq
Die exateq GmbH mit Sitz in Neumarkt in der Oberpfalz entwickelt, fertigt und installiert Nassbearbeitungsanlagen (Wet Processing Equipment) zum Ätzen und Reinigen von Solarwafern, Halbleiter-Substraten und Glas. Das Produktspektrum umfasst manuelle Nassbänke (qLAB), automatische Nassbänke (qSPRINT), automatisierte Anlagen für Batchgrößen von 50 bis 600 Wafern (qRUN), Anlagen für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON), kundenspezifische Lösungen (qFLEX), Medienver- und -entsorgungssysteme von 25 bis 1000 Litern (qCXS) sowie Carrier für Einzelwafer, PV-Wafer, Semi-Wafer und Substrate. Die Fertigung umfasst mechanische und elektrische Montage, spanende Fertigung, Schweißarbeiten und Rohrleitungsbau auf nahezu 3.000 m² Fertigungsfläche in drei Hallen. Zusätzlich liefert exateq Steuerungs- und Softwareentwicklung inklusive Rezepturverwaltung und GEM-SECS-Schnittstellen, komplette Dokumentation (P&ID, CE-Konformität, ATEX) sowie Wartung, Retrofit und Ersatzteile. Die Anlagen kommen in der Photovoltaik, Halbleiterfertigung, Elektronik-, Glas- und Medizintechnikindustrie zum Einsatz.
- Standort
- Neumarkt i.d.OPf.
- Verfahren
- Nassbänke zum Ätzen und Reinigen (Wet Processing), Reinigungs- und Texturprozesse für Solarwafer (automatisierte Nassbank qRUN), Manuelle Nassbank (qLAB), Automatische Nassbank (qSPRINT), Automatisierte Nassbank für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON), Medienver- und Medienentsorgungssysteme 25 bis 1000 Liter (qCXS), Carrierfertigung: Spritzguss, Schweißen von Hand, maschinelles Schweißen, Tempern (qCAR), Konstruktion von Automatisierungs- und nasschemischen Anlagen (Behälter, Rohrleitungen,
- Werkstoffe
- PVDF, PFA, PP, Edelstahl, Leitfähige Kunststoffe, Silizium-Solarwafer, Glas
- Gegründet
- 2015
- Branchen
- Photovoltaik, Halbleiter, Elektronik, Glas, Medizintechnik
- 01
Konstruktion von Automatisierungs- und nasschemischen Anlagen
- 02
Spanende Fertigung und Schweißarbeiten
- 03
Rohrleitungsbau (CAD-Planung, Vorfertigung)
- 04
Steuerungs- und Softwareentwicklung
- 05
Mechanische und elektrische Montage der Anlagen
- 06
Prüfung, Inbetriebnahme und Übergabe
- 07
Dokumentation (P&ID, CE-Konformität, ATEX)
- 08
Service: Wartung, Retrofit, Ersatzteile
Werkstoffe und Verfahren
PVDF
Chemikalienbeständiger Werkstoff für Carrier, die in Nassprozessanlagen hohen Stabilitätsanforderungen ausgesetzt sind.
PFA
Chemikalienbeständiger Kunststoff für Carrier mit höchsten Reinheits- und Beständigkeitsanforderungen.
PP
Kunststoff für Carrier und Bauteile im Kontakt mit nasschemischen Prozessen.
Edelstahl
Werkstoff für Carrier und Anlagenkomponenten mit hoher Stabilität und Langlebigkeit.
Leitfähige Kunststoffe
Für Carrier-Anwendungen, die elektrisch leitfähige Eigenschaften erfordern.
Silizium-Solarwafer
Substrate für Reinigungs- und Texturprozesse in der automatisierten Nassbank qRUN.
Glas
Substratwerkstoff, der in den Nassbänken gereinigt und bearbeitet wird.
Standort Neumarkt
Neumarkt i.d.OPf.
DEHauptsitz, Fertigung und Endmontage
- Losgröße
- Einzelfertigung bis Serienfertigung (Carrier)
- Werkstoffe
- PVDF, PFA, PP, Edelstahl, leitfähige Kunststoffe
- qLAB (manuelle Nassbank)
- qSPRINT (automatische Nassbank)
- qRUN (automatisierte Nassbank, 50–600 Wafer/Batch)
- qMARATHON (automatisierte Nassbank für Substrate bis 600 × 600 mm²)
- qFLEX (kundenspezifische Nassbank)
- qCXS (Medienver- und -entsorgungssysteme 25–1000 Liter)
- qCAR (Carrierfertigung: Spritzguss, Schweißen, Tempern)
Bauteile und Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Nassbänke zum Ätzen und Reinigen (Wet Processing)Oberfläche | – | – | – | – | Solarwafer, Halbleiter-Substrate, Glas |
| Reinigungs- und Texturprozesse für Solarwafer (automatisierte Nassbank qRUN)Oberfläche | – | 600 × 600 mm (Substrate, qMARATHON) | – | 50 Wafer pro Batch – 600 Wafer pro Batch | Silizium-Solarwafer |
| Manuelle Nassbank (qLAB)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Automatische Nassbank (qSPRINT)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Automatisierte Nassbank für Substrate bis 600 × 600 mm² (qMARATHON)Oberfläche | – | 600 mm × 600 mm | – | – | Halbleiter-Substrate |
| Medienver- und Medienentsorgungssysteme 25 bis 1000 Liter (qCXS)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Carrierfertigung: Spritzguss, Schweißen von Hand, maschinelles Schweißen, Tempern (qCAR)Kunststoff | – | 600 mm | – | Einzelfertigung – Serienfertigung | PVDF, PFA, PP, Edelstahl, Leitfähige Kunststoffe |
| Konstruktion von Automatisierungs- und nasschemischen Anlagen (Behälter, Rohrleitungen,Engineering | – | – | – | – | – |
| Montage, Prüfung und Inbetriebnahme von Anlagen (mechanische und elektrische Montage, Baugruppen)Montage | – | – | – | – | – |
| Spanende FertigungZerspanung | – | – | – | – | – |
| SchweißarbeitenFügen | – | – | – | – | – |
| Steuerungs- und Softwareentwicklung (Rezepturverwaltung, MES, GEM SECS)Engineering | – | – | – | – | – |
| Rohrleitungsbau (Abluft, Abläufe, Chemieversorgung, DI-Wasser; CAD-Planung, Vorfertigung)Fügen | – | – | – | – | – |
| Service: Wartung, Retrofit, ErsatzteileMontage | – | – | – | – | – |
9 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Manuelle Nassbank | exateq qLAB | – | – | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Automatische Nassbank | exateq qSPRINT | – | – | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Automatisierte Nassbank | exateq qRUN | – | Batchgrößen 50/100/200/400/600 Wafer pro Batch | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Automatisierte Nassbank für Substrate | exateq qMARATHON | – | Substrate bis 600 × 600 mm² | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Kundenspezifische Nassbanklösung | exateq qFLEX | – | – | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Medienver- und Medienentsorgungssystem | exateq qCXS | – | Gebindegrößen 25 bis 1000 Liter | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Carrier (Spritzguss/Schweißen/Tempern) | exateq qCAR | – | Einzelwafer, PV Wafer, Semi-Wafer, Substrate bis 600x600mm | – | Neumarkt i.d.OPf. |
| Batchanlage mit 600 Wafern/Batch (weltweit erste) | exateq | – | 600 Wafer/Batch | 2016 | Neumarkt i.d.OPf. |
| Fertigungshalle für Anlagenmontage | – | 3 | nahezu 3.000 m² (Gesamtfläche) | 2022/2023 | Neumarkt i.d.OPf. |
Zusatzleistungen
Historie
- 1995
Beginn der gemeinsamen Tätigkeit der späteren Gründer im Nassanlagenbau
- 2015
Gründung von exateq durch Matthias Niese und Gerry Knoch; Auslieferung erster Produktionsanlagen nach Asien
- 2016
Bau der weltweit ersten Batchanlage mit 600 Wafern/Batch
- 2019
Bau der ersten Halbleiteranlage
- 2022
Fertigungserweiterung um eine zweite Halle
- 2023
Fertigungserweiterung um eine dritte Halle
- 2025
10 Jahre exateq