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Fabmatics entwickelt und fertigt Automatisierungs-, Robotik- und Handlingsysteme für den Materialfluss in Halbleiterfabriken.

FA

Fabmatics GmbH

DresdenNeu auf Amplifa

über 35 JahreErfahrung in Automatisierungsprojekten
DresdenStandort (Hauptsitz)
GmbHRechtsform

Über Fabmatics

Fabmatics ist ein auf die Automatisierung von Materialflüssen und Handlingprozessen spezialisierter Systemanbieter mit Sitz in Dresden. Das Unternehmen realisiert Automated Material Handling Systems (AMHS) für Halbleiterfabriken, sowohl für 200-mm-Legacy-Fabs als auch für 300-mm-Frontend-Automation, einschließlich Reticle-Logistik und Test-Wafer-Management. Zum Portfolio zählen Transportfahrzeuge (AGV, RGV, PGV), Transportsysteme, Robotik- und Handlingsysteme für den Reinraumeinsatz, Stocker-Systeme sowie RFID-Integration und Echtzeit-Lokalisierungssysteme. Das Leistungsspektrum umfasst Beratung, Entwicklung, Modellierung von Automatisierungssystemen, Produktion, Installation, Inbetriebnahme und After-Sales-Service inklusive digitalem Serviceportal für Life-Cycle-Management. Fabmatics verfügt über mehr als 35 Jahre Erfahrung in der Implementierung kundenspezifischer Automatisierungsprojekte weltweit und ist Teil der SCIO Automation Group. Kunden stammen vor allem aus der Halbleiterindustrie und der High-Tech-Fertigung.

Standort
Dresden
Verfahren
Automated Material Handling Systems (AMHS) für Halbleiterfabriken, 200mm Frontend Automation, 300mm Frontend Automation, Reticle Logistics Automation, Test Wafer Management, RFID Integration, Automation System Modeling, Third-Party Support
Werkstoffe
Automated Material Handling Systems, RFID-Integration, Real-time Locating System (Fab-LIPS), Automated Guided Vehicle, Rail-Guided Vehicle (HERO Rail), OHT I/O-Stations (Loadports), Stocker-Systeme (FlatStocker, CubeStocker), Robot Cell (Luna)
Branchen
Halbleiterindustrie, High-Tech-Fertigung
  1. 01

    Beratung und Konzeptentwicklung

  2. 02

    Automatisierungssystem-Modellierung

  3. 03

    Entwicklung und Produktion

  4. 04

    Installation und Inbetriebnahme

  5. 05

    After-Sales-Service und Life-Cycle-Management

Technologien und Systeme

AMHS

Automated Material Handling Systems

Transport-, Handling-, Storage- und Identifikationssysteme für den Reinraumeinsatz in Halbleiterfabriken.

RFID

RFID-Integration

RFID-Reader, Gateways und Retrofit-Lösungen als Grundlage für skalierbare Fab-Automatisierung.

RTLS

Real-time Locating System (Fab-LIPS)

Echtzeit-Lokalisierung für die Positionsermittlung von Systemen in der Fab.

AGV

Automated Guided Vehicle

Fahrerloses Transportsystem für den automatisierten Materialfluss.

RGV

Rail-Guided Vehicle (HERO Rail)

Schienengeführtes Fahrzeug für transportsichere, hochdynamische Logistikaufgaben.

OHT

OHT I/O-Stations (Loadports)

Schnittstellenstationen für den Transfer von Wafer-Containern im Overhead-Transport.

Stocker

Stocker-Systeme (FlatStocker, CubeStocker)

Reinraumtaugliche Overhead- und Bodenspeicher für die Zwischenlagerung von Carriern.

Robot Cell

Robot Cell (Luna)

Robotikzelle für das Handling von Carriern unter Reinraumbedingungen.

Purge

Wafer Pod Purge System

System zum Spülen von Wafer-Pods als Beitrag zum Schutz der Wafer.

Standort

Dresden

DE

Hauptsitz

Werkstoffe
AMHS, RFID, Robotik
  • AGV
  • HERO Rail RGV
  • Mobile Robots
  • Robot Cell Luna
  • Test Wafer Center
  • FlatStocker
  • CubeStocker
  • RFID-Systeme
  • Fab-LIPS

Branchen

HalbleiterindustrieHigh-Tech-Fertigung

Verfahren & technische Grenzen

VerfahrenToleranzMax. BauteilGewichtLosgrößeWerkstoffe
Automated Material Handling Systems (AMHS) für HalbleiterfabrikenMontage–––––
200mm Frontend AutomationMontage–––––
300mm Frontend AutomationMontage–––––
Reticle Logistics AutomationMontage–––––
Test Wafer ManagementMontage–––––
RFID IntegrationMontage–––––
Automation System ModelingEngineering–––––
Third-Party SupportEngineering–––––
Wet Bench SolutionsMontage–––––
Engineering–––––
Montage–––––

18 Anlagen & Maschinen

MaschineHersteller / ModellAnzahlArbeitsraumBaujahrStandort
Automated Guided Vehicle (AGV)Fabmatics––––
Rail-Guided Vehicle (RGV, HERO Rail)Fabmatics HERO Rail––––
Person Guided Vehicle (PGV)Fabmatics––––
Conveyor Systems / Box Opening TransferFabmatics––––
OHT I/O-Stations (Loadports)Fabmatics––––
Mobile Robots (Reinraum-tauglich für Wafer-, Reticle- und Carrier-Handling)Fabmatics––––
Robot Cell (Luna, Carrier Handling)Fabmatics Luna––––
Test Wafer Center (Kitting, Storage, De-Kitting)Fabmatics––––
Carrier GripperFabmatics––––
Wafer GripperFabmatics––––
FOUP OpenerFabmatics––––
Overhead Stocker (Zero Footprint, FlatStocker Cleanroom)Fabmatics FlatStocker––––
Floor Stocker (CubeStocker Cleanroom)Fabmatics CubeStocker––––
RFID RackFabmatics––––
RFID Reader (LF/HF), RFID Gateway, RFID Reading StationFabmatics––––
Real-time Locating System (RTLS, Fab-LIPS)Fabmatics Fab-LIPS––––
Wafer Pod Purge SystemFabmatics––––
Linear Stocker (Reticle Logistics, mit SCIO)SCIO Automation––––

Zusatzleistungen

Fab-Automatisierung (AMHS)RFID-IntegrationAutomatisierungssystem-ModellierungThird-Party-SupportTechnischer Support / After-Sales-ServiceInbetriebnahme digitales Serviceportal / Life-Cycle-ManagementWet Bench Solutions (USA)

Historie

  1. Mehr als 35 Jahre Erfahrung in der Implementierung kundenspezifischer Automatisierungsprojekte weltweit

  2. Teil der SCIO Automation Group

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