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Fabmatics automatisiert Materialflüsse und Handhabungsprozesse in Halbleiterfabriken und Hochtech-Reinraumumgebungen – von Robotern bis zum Digital Twin.
Fabmatics GmbH
Dresden · Utica, NY (USA)Neu auf Amplifa
Automatisierung aus einer Hand – seit 1991
Die Fabmatics GmbH mit Hauptsitz in Dresden ist ein spezialisierter Anbieter für die Automatisierung von Materialflüssen und Handhabungsprozessen in Halbleiterfabriken und anderen High-Tech-Produktionsumgebungen. Das 1991 gegründete Unternehmen mit rund 300 Mitarbeitenden entwickelt und fertigt mobile Roboter (HERO, SCOUT), Schienen- und fahrerlose Transportsysteme, stationäre Roboterzellen, Stocker-Lagersysteme, Load Ports, RFID-Systeme sowie Reinraumkomponenten und Präzisionsteile bis Reinraumklasse ISO 1 und besser. Das Portfolio deckt Hardware und Software für Handhabung, Transport und Lagerung ab, ergänzt um Beratung, Simulation, Digital Twin, Systemintegration sowie Wartung und Field Service. Ein Schwerpunkt ist die Modernisierung von 200-mm-Semiconductor-Fabs weltweit; Systeme beherrschen das Handling von Wafern von 100 bis 450 mm sowie von EUV-Reticles. Seit 2023 gehört Fabmatics zur SCIO Automation Group. Über die Tochtergesellschaft Fabmatics USA Inc. in Utica, New York, ist das Unternehmen weltweit aktiv, unter anderem für Kunden wie Infineon Technologies Dresden und BOSCH.
- Standort
- Dresden
- Verfahren
- Mobile Roboter (HERO, SCOUT, HERO Rail) für Wafer-, Reticle- und Carrier-Handling, Automated Material Handling Systems (AMHS) für 200mm und 300mm Frontend-Fabs, Test Wafer Center (Kitting, Storage, De-Kitting von Testwafern), Purge Systeme für FOUP/SMIF Wafer Pods (Inertgas-Spülung), Smart Load Ports / Slim Load Ports (OHT I/O Stations mit RFID), RFID-Systeme, RFID-Retrofit, Fab RTLS (Indoor GPS FAB-LIPS), Conveyor-Transportsysteme für Reinraumproduktion, Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS) für 200mm Waferkassetten
- Werkstoffe
- Wafer (100 bis 450 mm), Reticles / EUV-Reticles (Lithographiemasken), FOUP/SMIF Wafer Pods, Reticles / EUV-Reticles, Mobile Roboter (HERO FAB Wi-Fi E84, HERO Scout, HERO Rail, HERO Fab), Schienengebundene Transportsysteme (RGV) und Conveyor, Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS), Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs
- Zertifikate
- ISO 9001, ISO 14001, IATF 16949, EN 9100
- Gegründet
- 1991
- Mitarbeiter
- 300
- Branchen
- Halbleiterfertigung (200mm/300mm Frontend), Hightech-/Reinraum-Produktionsumgebungen, Equipmenthersteller (OEM), Photovoltaik (historisch)
- 01
Fab Assessment und Machbarkeitsstudien
- 02
Prozess- und Anforderungsanalyse
- 03
Entwicklung individueller Automatisierungslösungen (Hardware/Software)
- 04
Automation System Modeling (Simulation, Digital Twin)
- 05
Reinraumfertigung von Robotersystemen, Baugruppen und Komponenten
- 06
Installation und Inbetriebnahme
- 07
Wartung, Field Service, Retrofit und 24/7-Ersatzteillager
Produkte und Technologien
Wafer (100 bis 450 mm)
Handling und Transport von Wafern in 200-mm- und 300-mm-Frontend-Fabs.
Reticles / EUV-Reticles
Spezielle Greifer und Logistiklösungen für Lithographiemasken einschließlich EUV.
FOUP/SMIF Wafer Pods
Purge-Systeme und Handhabungslösungen für Wafer Carrier und Pods.
Mobile Roboter (HERO FAB Wi-Fi E84, HERO Scout, HERO Rail, HERO Fab)
Reinraumtaugliche autonome und schienengebundene Transportsysteme für Wafer, Reticles und Carrier.
Schienengebundene Transportsysteme (RGV) und Conveyor
Automatisierter Materialtransport für Reinraumproduktion.
Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS)
Automatische Zwischenlagerung für 200-mm-Waferkassetten.
Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs
Handhabung von Wafern und Carriern an Prozess- und Messanlagen.
RFID-Systeme, CAN Gateway, Fab RTLS (FAB-LIPS)
Produktidentifikation, Lokalisierung und SEMI-konforme Anbindungen in Fabs.
Smart Load Port, Slim Load Port
OHT-I/O-Stationen mit RFID-Identifikation und MES-Integration.
Test Wafer Center
Kitting, Lagerung und De-Kitting von Testwafern mit vollständiger Rückverfolgbarkeit.
Standorte
Dresden
DEHauptsitz Europa: Entwicklung, Reinraumfertigung, Software und Service
- Werkstoffe
- Wafer (100–450 mm), Reticles/EUV-Reticles, FOUP/SMIF Pods
- Mobile Roboter HERO FAB Wi-Fi E84, HERO Scout, HERO Rail, HERO Fab
- Stationäre Roboterzelle LUNA
- Stocker-Lagersysteme FlatStocker, CubeStocker, ZFS
- Test Wafer Center
- RFID Reader LF-134/HF-1356, CAN Gateway
- Indoor GPS FAB-LIPS
- Wafer Pod Purge System
- Smart/Slim Load Ports
- Fleet Manager HSFM
Utica, NY
USStandort USA (Fabmatics USA Inc.)
Produkte und Systeme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Mobile Roboter (HERO, SCOUT, HERO Rail) für Wafer-, Reticle- und Carrier-HandlingMontage | – | – | – | – | – |
| Automated Material Handling Systems (AMHS) für 200mm und 300mm Frontend-FabsMontage | – | – | – | – | – |
| Test Wafer Center (Kitting, Storage, De-Kitting von Testwafern)Montage | – | – | – | – | – |
| Purge Systeme für FOUP/SMIF Wafer Pods (Inertgas-Spülung)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Smart Load Ports / Slim Load Ports (OHT I/O Stations mit RFID)Montage | – | – | – | – | – |
| RFID-Systeme, RFID-Retrofit, Fab RTLS (Indoor GPS FAB-LIPS)Engineering | – | – | – | – | – |
| Conveyor-Transportsysteme für ReinraumproduktionMontage | – | – | – | – | – |
| Stocker-Lagersysteme (FlatStocker, CubeStocker, ZFS) für 200mm WaferkassettenMontage | – | – | – | – | – |
| Stationäre Roboterzelle LUNA, Robot Cells, EFEMs, Carrier-/Wafer-/Reticle-Greifer (100 bis 450 mm)Montage | – | 450 mm (Wafergreifer) | – | – | – |
| EUV-Reticle-Handling (Reticle Gripper)Montage | – | – | – | – | – |
| AGV / RGV / PGV Transportsysteme (HERO Fab, HERO Scout, HERO Rail, RFID-Trolley)Montage | – | – | – | – | – |
| Fab Assessment, Machbarkeitsstudien, Fab-Optimierung, Prozess- und AnforderungsanalyseEngineering | – | – | – | – | – |
| Automation System Modeling: Analytics, Simulation, Digital TwinEngineering | – | – | – | – | – |
| Software: Systemintegration, Fleet Manager (HSFM), GUI-EntwicklungEngineering | – | – | – | – | – |
| Third-Party Support: Installation, Inbetriebnahme, Wartung, Field Service, Retrofit, Refurbishment,Montage | – | – | – | – | – |
| Reinraumfertigung von Robotersystemen, Baugruppen, Komponenten und Präzisionsteilen (Cleanroom bisMontage | – | – | – | – | – |
| Box Opening Transfer Unit (Conveyor)Montage | – | – | – | – | – |
| FOUP Opener (Handling Tool)Montage | – | – | – | – | – |
14 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Mobiler Roboter (AMR) | Fabmatics HERO FAB Wi-Fi E84 | – | – | – | Dresden |
| Autonomer mobiler Roboter (AMR) | Fabmatics HERO Scout | – | – | – | Dresden |
| Schienengebundenes Transportsystem (RGV) | Fabmatics HERO Rail | – | – | – | Dresden |
| Fahrerloses Transportsystem (AGV) | Fabmatics HERO Fab | – | – | – | Dresden |
| Manuelles Transportsystem (PGV) | Fabmatics RFID Trolley | – | – | – | Dresden |
| Stationäre Roboterzelle | Fabmatics LUNA | – | – | – | Dresden |
| Stocker-Lagersystem | Fabmatics FlatStocker | – | – | – | Dresden |
| Stocker-Lagersystem | Fabmatics CubeStocker | – | – | – | Dresden |
| Test Wafer Center | Fabmatics | – | – | – | Dresden |
| RFID Reader (LF/HF, Serie LF-134, HF-1356) | Fabmatics LF-134-SER-MINI, LF-134-ETH-MUX4, LF-134-SER, LF-134-CAN-ANT, LF-134-CAN, | – | – | – | Dresden |
| Indoor GPS / RTLS System | Fabmatics FAB-LIPS | – | – | – | Dresden |
| Purge System für Wafer Pods | Fabmatics Wafer Pod Purge System | – | – | – | Dresden |
| Load Ports (OHT I/O Stationen) | Fabmatics Smart Load Port, Slim Load Port | – | – | – | Dresden |
| Fleet Manager | Fabmatics HSFM | – | – | – | Dresden |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
Fabmatics ist nach ISO 9001 und ISO 14001 zertifiziert und arbeitet mit standardisierten Managementsystemen, definierten Prozessen und kontinuierlicher Verbesserung. Reinraumkompetenz bis Klasse ISO 1 und besser wird durch eigene Reinraumfertigung von Robotersystemen, Baugruppen und Präzisionsteilen unter Beweis gestellt.
| Nachweis | Dresden |
|---|---|
| ISO 9001 | |
| ISO 14001 | |
| IATF 16949 | |
| EN 9100 |
Historie
- 1991
Gründung der HAP GmbH Dresden (Handling-, Automatisierungs- und Präzisionstechnik) durch Dr. Steffen Pollack, Manfred Jähnert und Lothar Andritzke
- 2007
Ortner tritt in den Photovoltaik-Markt ein; erstes 5-Track-Wafer-Sortiersystem
- 2009
Ortner wird 100%-Mitglied der Roth & Rau Gruppe (2010 umbenannt in Roth & Rau - Ortner GmbH)
- 2010
Erste mobile Roboterlösung HAP-HERO für die Halbleiterindustrie
- 2013
Zeiss-Lieferantenaward SUCCESS für HAP; größter Einzelauftrag der Fabrikautomation (3,2 Mio. €) an Roth & Rau - Ortner von BOSCH
- 2014
Süd Beteiligungen und Wachstumsfonds Mittelstand Sachsen werden Anteilseigner (HAP Holding); Handling Award für den Roboter SCOUT
- 2015
HAP übernimmt Roth & Rau - Ortner GmbH und Ortner USA
- 2016
Fusion von HAP und Ortner zu Fabmatics GmbH bzw. Fabmatics USA Inc. (1.9.2016); Umzug an den neuen Firmensitz; FlatStocker erstmals im Einsatz
- 2018
Dr. Roland Giesen wird Geschäftsführer; Gründer Dr. Steffen Pollack wechselt in den Beirat
- 2019
2. Platz Sächsischer Innovationspreis für die Weiterentwicklung des Roboters SCOUT
- 2020
Dr. Andreas Purath wird Geschäftsführer (Nachfolger von Heinz Martin Esser); 10 Jahre mobiler Roboter HERO
- 2021
Managementwechsel bei Fabmatics USA: Thomas Beeg folgt auf Stan Rosenlof
- 2022
30 Jahre Automatisierung – Firmenjubiläum mit 320 Gästen in Dresden
- 2023
Fabmatics wird Teil der SCIO Automation Group (ca. 1.800 Mitarbeiter in 8 Ländern)
- 2026
HERO Scout erfolgreich mit Infineon Technologies Dresden im EU-Projekt AIMS 5.0 im Realbetrieb einer 200-mm-Fab getestet; Einführung des CAN Gateway