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Vakuumbeschichtungsanlagen, Sputtertargets und Dünnschichtdienstleistungen für Forschung und Industrie
FHR Anlagenbau GmbH
Ottendorf-Okrilla, DENeu auf Amplifa
Dünnschichttechnik von der Anlage bis zum Target
Die FHR Anlagenbau GmbH ist auf Dünnschichttechnik spezialisiert und entwickelt sowie fertigt Vakuumbeschichtungsanlagen als Sonderanlagen und Serienprodukte – von Labor-Clustern bis zu großen Produktionssystemen in Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle- und Boxx-Bauweise. Das Unternehmen begleitet Kunden über den gesamten Lebenszyklus: vom Engineering über die Inbetriebnahme bis zu Wartung, Ersatzteilen, Retrofits, Schulungen und technischen Audits. Ergänzend bietet FHR Beschichtungsmaterialien an, insbesondere Sputtertargets inklusive Beratung, Fertigung und Recycling, sowie einen hauseigenen Beschichtungsservice für Bemusterung, Verfahrensqualifikation und Kleinserien. Auf 15.000 m² Produktions-, Beschichtungs- und Entwicklungsfläche arbeiten mehr als 150 Mitarbeitende für Kunden aus Forschung & Entwicklung, Halbleiter-/Elektronikindustrie, Quantentechnologie und serienfertigender Industrie, weltweit. Seit Dezember 2019 gehört FHR zur Vital Materials Company (Vital Group).
- Standort
- Ottendorf-Okrilla
- Verfahren
- Vakuumbeschichtung / Dünnschichttechnik (Sputtern, Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle-, Boxx-), Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien, Qualifikation des Beschichtungsverfahrens), Target-Fertigung und Recycling, Anlagenbau (Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik), Beschichtungsmaterialien (Targets: Beratung, Fertigung, Recycling), Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien), Kundenservice (Wartung, Ersatzteile, Retrofits, Schulungen, technische Audits), Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik
- Werkstoffe
- Sputtertargets (Beschichtungsmaterialien), Vakuumbeschichtung / Sputtern
- Zertifikate
- Zertifizierungen
- Mitarbeiter
- 150+
- Branchen
- Forschung & Entwicklung, Halbleiter/Elektronik, Quantentechnologie, Industrie (Serienproduktion)
- 01
Beratung & Engineering
- 02
Konstruktion & Anlagenbau
- 03
Target-Fertigung
- 04
Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserie)
- 05
Inbetriebnahme
- 06
Kundenservice (Wartung, Ersatzteile, Retrofits, Recycling)
Materialien & Verfahren
Sputtertargets (Beschichtungsmaterialien)
Fertigung und Recycling von Targets für Sputterprozesse in Forschung und Serienproduktion.
Vakuumbeschichtung / Sputtern
Dünnschichtprozesse in Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle- und Boxx-Anlagen von der Bemusterung bis zur Großserienproduktion.
Standort
Ottendorf-Okrilla
DEProduktion, Beschichtung, Entwicklung
- Losgröße
- Bemusterung, Kleinserie bis groß angelegte Serienproduktion
- Werkstoffe
- Sputtertargets, Dünnschichten
- Vakuumbeschichtungsanlage - Cluster
- Vakuumbeschichtungsanlage - Inline
- Vakuumbeschichtungsanlage - Rolle-zu-Rolle
- Vakuumbeschichtungsanlage - Boxx
Bauteile & Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Vakuumbeschichtung / Dünnschichttechnik (Sputtern, Cluster-, Inline-, Rolle-zu-Rolle-, Boxx-)Oberfläche | – | – | – | Bemusterung / Kleinserie – groß angelegte Serienproduktion | Targets (Beschichtungsmaterialien) |
| Beschichtungsservice (Bemusterung, Kleinserien, Qualifikation des Beschichtungsverfahrens)Oberfläche | – | – | – | Kleinserie | – |
| Target-Fertigung und RecyclingOberfläche | – | – | – | – | Sputtertargets |
| Anlagenbau (Sonderanlagen & Serienprodukte für Dünnschichttechnik)Engineering | – | – | – | – | – |
4 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Vakuumbeschichtungsanlage - Cluster | FHR Anlagenbau GmbH | – | – | – | – |
| Vakuumbeschichtungsanlage - Inline | FHR Anlagenbau GmbH | – | – | – | – |
| Vakuumbeschichtungsanlage - Rolle-zu-Rolle | FHR Anlagenbau GmbH | – | – | – | – |
| Vakuumbeschichtungsanlage - Boxx | FHR Anlagenbau GmbH | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Qualität
FHR begleitet Beschichtungsverfahren von der Qualifikation im Muster bis zur Serie; der Kundendienst unterstützt mit Wartung, technischen Audits und Schulungen.
| Nachweis | Ottendorf-Okrilla |
|---|---|
| Zertifizierungen |
Historie
- 2019
Übernahme der FHR Anlagenbau GmbH durch die Vital Materials Company (Vital Group) im Dezember 2019.