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Entwicklung und Fertigung von Mess- und Automatisierungssystemen für Halbleiter-, Quarz- und Photovoltaikindustrie
Freiberg Instruments GmbH
Freiberg · ShanghaiNeu auf Amplifa
Über Freiberg Instruments
Die Freiberg Instruments GmbH mit Sitz in Freiberg (Sachsen) entwickelt und fertigt Präzisionsmesstechnik und Automatisierungslösungen für die Halbleiter-, Mikroelektronik-, Photovoltaik-, Chemie- und Medizintechnikbranche. Das Produktspektrum umfasst Röntgen-Diffraktometer (XRD) für Kristallorientierung und Qualitätskontrolle von Silizium-, SiC- und Quarz-Proben, kontaktlose Lifetime- und Resistivitäts-Messsysteme (MDP), Oberflächen-Photovoltage-Spektroskopie, Lumineszenz-Lesegeräte (TL/OSL), Batterie-Formationssysteme, Strahlungsüberwachungssysteme sowie Raman-Sensorik. Die Systeme werden kundenspezifisch angepasst und in Produktionslinien integriert; dazu gehören Roboterhandhabung, softwaregesteuerte Workflows, Schulung, technischer Support und projektbezogene Verpackung inklusive ISPM-15-Holzkisten. Das Unternehmen entstand als Universitätsspin-off und weist mehr als 20 Jahre Erfahrung mit über 3.000 installierten Messsystemen weltweit auf. Mit über 100 Mitarbeitenden und 11 Vertriebsbüros beliefert Freiberg Instruments Industrie und Forschungskooperationen wie Fraunhofer-Institute und die TU Bergakademie Freiberg.
- Standort
- Freiberg
- Verfahren
- Röntgendiffraktometrie (XRD) für Kristallorientierung, Sample-Ausrichtung und Qualitätskontrolle, Resistivity Mapping (RESmap, THzmap) für Halbleiter-Qualitätskontrolle, PID-Test (Potential Induced Degradation) für c-Si Solarzellen und Mini-Module, Lumineszenz-Datierung und Dosimetrie (TL/OSL-Systeme), Battery Cell Formation und Testing (Syntropic Cell Technology / FormationIQ), Strahlungsüberwachung (Radiation Monitoring Systems), Raman-Sensorik für Polymer- und Halbleiter-Sortierung, Magnetische Schwebewägung (Magnetic Suspension Balance) für hochgenaue Sorptionsmessungen
- Werkstoffe
- Silizium (mono- und multikristallin), Siliziumkarbid, Galliumarsenid, Cadmiumtellurid, Indiumphosphid, Zinksulfid, Germanium, Galliumnitrid
- Zertifikate
- ISO 9001:2015, EcoVadis Bronze, CE-Konformität
- Mitarbeiter
- +100 Experten
- Branchen
- Halbleiter, Mikroelektronik, Photovoltaik, Chemie, Medizintechnik, Batterietechnologie
- 01
Forschung & Entwicklung
- 02
Systemdesign & Konstruktion
- 03
Fertigung & Software-Integration
- 04
Automatisierte Sample-Handhabung & Inbetriebnahme
- 05
Qualitätskontrolle nach ISO 9001
- 06
Logistik & Verpackung
- 07
Schulung & technischer Support
Werkstoffe & Messtechnologien
Röntgen-Diffraktometrie
Kristallorientierung, Sample-Ausrichtung und Qualitätskontrolle an Si-, SiC- und Quarz-Proben.
Microwave Detected Photoconductivity
Kontaktlose, zerstörungsfreie Lifetime- und Resistivitätsmessung nach SEMI PV9-1110.
Surface Photovoltage Spectroscopy
Kontaktlose Charakterisierung elektro-optischer Materialparameter.
Silizium
Mono- und multikristalline Ingots, Bricks und Wafers bis 450 mm Durchmesser.
Siliziumkarbid
Automatisierte 200-mm-Ingotaufbereitung für OD/Notch-Spezifikationen.
Quarz
Bar-Alignment, Wafer-Analyse und Blank-Sortierung mit ≤10 arcsec Standardabweichung.
Lumineszenz-Dosimetrie
TL/OSL-Systeme für Geochronologie, Archäologie und Strahlungs-Dosimetrie.
Standorte
Freiberg
DEHeadquarters, Fertigung und Entwicklung
- Werkstoffe
- Si, SiC, GaAs, CdTe, InP, ZnS, Ge, GaN, Quarz
- XRD-Serie (Ingot XRD, Ingot XRD SiC, XRDmap Pro, Omega/Theta XRD, DDCOM, SDCOM, Wafer XRD)
- Quartz XRD-Serie
- MDPpro / MDPpro 850+
- RESmap / THzmap
- HR-SPSmap, SPSresearch, SPSmap Heat
- PIDcon bifacial
- lexsyg TL/OSL-Lesegeräte
- FormationIQ
- MSBsorp
- RAMSES-4-CE
- Strahlungsüberwachungssysteme (SmartKONT, GM 2100 u. a.)
Systeme & Komponenten
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Röntgendiffraktometrie (XRD) für Kristallorientierung, Sample-Ausrichtung und QualitätskontrollePrüfung | – | – | – | – | Si, SiC, Quarz |
| Prüfung | ≤ 10 arcsec Standardabweichung; Alignment ±0,03° (AT & TF) | – | – | bis 700 Blanks/h bzw. 350 Wafers/h | Quarz |
| Resistivity Mapping (RESmap, THzmap) für Halbleiter-QualitätskontrollePrüfung | – | – | – | – | Si, Halbleiter |
| Prüfung | – | 210 x 210 mm (Brick) | – | >240 Bricks/Tag bzw. >720 Wafers/Tag | Si, SiC, Galliumarsenid, CdTe, InP, ZnS, Perovskit, Oxide, Wide-Bandgap-Materialien, Epitaxial Layers, Germanium, GaN |
| Prüfung | – | 850 mm oder länger (Brick) × 125x125 bis 210x210 mm (Ingot) | – | – | Si (monokristallin), Perovskit |
| PID-Test (Potential Induced Degradation) für c-Si Solarzellen und Mini-ModulePrüfung | – | bis 210 x 210 mm | – | – | c-Si (Solarzellen) |
| Lumineszenz-Datierung und Dosimetrie (TL/OSL-Systeme)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Battery Cell Formation und Testing (Syntropic Cell Technology / FormationIQ)Prüfung | – | – | – | GWh-scale (FormationIQ Module) | – |
| Strahlungsüberwachung (Radiation Monitoring Systems)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Raman-Sensorik für Polymer- und Halbleiter-SortierungPrüfung | – | – | – | – | Kunststoff, Halbleiter |
| Magnetische Schwebewägung (Magnetic Suspension Balance) für hochgenaue SorptionsmessungenPrüfung | – | – | – | – | – |
| Prüfung | – | – | – | – | Halbleiter |
| Double Prism Monochromator (DPM100) für SpektralanalysePrüfung | – | – | – | – | – |
| Engineering | – | – | – | – | – |
| Engineering | – | – | – | – | – |
| Forschung & Entwicklung – Neuentwicklung Messtechnik, Prototyping & TestingEngineering | – | – | – | – | – |
| Training und Application Expertise (Schulung vor Ort, remote, in Freiberg)Engineering | – | – | – | – | – |
| Technical Support (Remote Assistance, Reparaturen, Ersatzteile & Upgrades)Engineering | – | – | – | – | – |
| Engineering | – | – | – | – | – |
| Ingot XRD – Ingotaufbereitung für OD/Notch-Spezifikationen (SiC, 200 mm)Prüfung | – | 200 mm (SiC-Ingot) | – | – | SiC |
14 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| – | Freiberg Instruments | – | – | – | Freiberg |
| Quarz-XRD-Diffraktometer (Bar/Wafer/Blank, X-ray tube 1,5 kW Cu-Anode) | Freiberg Instruments Quartz XRD series (Quartz Bar XRD, Quartz Wafer XRD, Quartz Blank XRD) | – | Wafer 20x20 bis 80x80 mm; Blanks 1x1 bis 17x17 mm | – | Freiberg |
| Lifetime-Messsystem (μPCD/MDP) | Freiberg Instruments MDPpro | – | – | – | Freiberg |
| Lifetime- & Resistivity-Messsystem für monokristalline Si-Ingots/Bricks/Wafers | Freiberg Instruments MDPpro 850+ | – | – | – | Freiberg |
| Resistivity Mapping System | Freiberg Instruments RESmap / THzmap | – | – | – | Freiberg |
| Surface Photovoltage Spektroskopie-Systeme | Freiberg Instruments HR-SPSmap, SPSresearch, SPSmap Heat | – | – | – | Freiberg |
| Double Prism Monochromator | Freiberg Instruments DPM100 | – | – | – | Freiberg |
| Benchtop PID-Tester | Freiberg Instruments PIDcon bifacial | – | Sample bis 210x210 mm; Gerät 350x330x280 mm, ca. 20 kg | – | Freiberg |
| TL/OSL-Lumineszenz-Lesegeräte | Freiberg Instruments | – | – | – | Freiberg |
| Battery Formation & Testing Systeme | Freiberg Instruments FormationIQ Module, FormationIQ Matrix, FormationIQ Board | – | – | – | Freiberg |
| Magnetic Suspension Balance | Freiberg Instruments MSBsorp | – | – | – | Freiberg |
| Raman-Sensor (vollautomatisch, für Polymer-/Halbleiter-Sortierung) | Freiberg Instruments RAMSES-4-CE | – | – | – | Freiberg |
| Strahlungsüberwachungssysteme | Freiberg Instruments SmartKONT, Comet2500, SmartRAY2, Beta-Aerosol monitor, GM 2100 | – | – | – | Freiberg |
| Angle Sorter | Freiberg Instruments Angle Sorter | – | – | – | Freiberg |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität & Zertifizierung
Die Systeme werden nach ISO 9001:2015 gefertigt und sind CE-konform; die Qualitätssicherung umfasst automatisierte Messdatenauswertung, Wiederholgenauigkeit > 99 % und traceable Messergebnisse.
| Nachweis | Freiberg |
|---|---|
| ISO 9001:2015 | |
| EcoVadis Bronze | |
| CE-Konformität |
Historie
- 2005
Als Universitätsspin-off gegründet; über 20 Jahre Erfahrung in der Entwicklung von Messtechnik.
- 2024
Mehr als 3.000 installierte Messsysteme weltweit, 11 Vertriebsbüros, über 100 Mitarbeitende.
- 2030
Ziel: Netto-Null bei betrieblichen Emissionen und EcoVadis Gold.
- 2040
Ziel: Netto-Null über die gesamte Wertschöpfungskette.