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Entwicklung von Vakuumsensoren und Restgasanalysatoren für Druckmessung und Gasanalyse in einem Gerät
GRAUCH Vakuummesstechnik GmbH
Jena (Hans-Knöll-Str. 6, 07745)Neu auf Amplifa
Über GRAUCH Vakuummesstechnik
Die GRAUCH Vakuummesstechnik GmbH ist ein Deep-Tech-Startup aus Jena, das smarte Vakuummesstechnik für die prozessnahe Überwachung von Vakuumanlagen entwickelt. Im Zentrum steht die Sensorplattform TOFX (TOF300): Sie verbindet Totaldruckmessung bis 10⁻¹⁰ mbar mit einer Echtzeit-Gassignatur im Massenbereich 1–300 amu bei einer Messzeit von rund 10 ms und ist als direkter Ersatz für klassische Vakuummessgeräte konzipiert. Neben der Entwicklung und Herstellung von Vakuumsensoren, Restgasanalysatoren sowie Druck-, Durchfluss- und Temperatursensoren bietet das Unternehmen Ingenieur-, Schulungs- und Beratungsleistungen, Service, Wartung und Kalibrierung sowie die Integration eigener und fremder Sensoren in Mess- und Analysestationen an. Ergänzend handelt das Unternehmen mit Vakuumkomponenten und Messsystemen und entwickelt Software und Auswertesysteme. Zielgruppen sind Anlagenbau, Halbleiterfertigung, Beschichtungstechnik, Industrie und Forschung. Das dreiköpfige Gründerteam ist Teil des TRIP Thuringian Regional Innovation Program und stellt auf der Hannover Messe 2026 erstmals aus.
- Standort
- Jena
- Verfahren
- Vakuummessung und Gasanalyse (Druck und Gaszusammensetzung in einem Gerät, Restgasanalyse,, Entwicklung und Herstellung von Vakuumsensoren, Restgasanalysatoren, Druck-, Durchfluss- und, TOFX/TOF300 Sensorplattform: Gesamtdruckmessung bis 10⁻¹⁰ mbar, Massenbereich 1–300 amu, Messzeit, Forschung und Entwicklung Vakuum- und Prozessmesstechnik, Ingenieur-, Schulungs- und Beratungsleistungen, Service, Wartung, Kalibrierung, Integration von Sensoren in Mess- und Analysestationen, Handel mit Vakuumkomponenten und Messsystemen
- Werkstoffe
- Wasserstoff, Wasser, Stickstoff, Sauerstoff, Kohlenmonoxid, Kohlendioxid, Helium, Kohlenwasserstoffe
- Zertifikate
- Service, Wartung und Kalibrierung, Restgasanalyse und Helium-Lecktest
- Mitarbeiter
- 3
- Branchen
- Anlagenbau, Halbleiter/Mikrochips, Beschichtungstechnik, Industrie, Forschung
- 01
Forschung und Entwicklung Vakuum- und Prozessmesstechnik
- 02
Konstruktion und Herstellung der Sensoren
- 03
Integration in Mess- und Analysestationen
- 04
Vertrieb, Vermietung und Handel mit Vakuumkomponenten
- 05
Service, Wartung, Kalibrierung und Inbetriebnahme beim Kunden
Messbare Gase und Messverfahren
Wasser
Restgaskomponente, deren Verlauf beim Abpumpen und vor Prozessen sichtbar gemacht wird.
Wasserstoff
Nachweis im Restgas der Kammer, u. a. als möglicher Hinweis auf Prozessprobleme.
Stickstoff
Luftanteil, dessen Signalverlauf beim Abpumpen mit der Referenz verglichen wird.
Sauerstoff
Luftanteil zur Beurteilung des Abpumpverhaltens der Kammer.
Kohlenmonoxid
Gasart, die in der Massenspektrometrie neben Stickstoff detektiert wird.
Kohlendioxid
Gasart in der Restgasanalyse der Vakuukammer.
Helium
Prüfgas für den Helium-Lecktest an Dichtungen.
Kohlenwasserstoffe
Schwerere Bestandteile wie Öle, die über den Sauberkeitsindex früh als Kontamination sichtbar werden.
Standorte
Jena
DEHauptsitz: Forschung, Entwicklung, Sensorentwicklung und Demonstratorbetrieb
- Werkstoffe
- Gase von H₂ bis schwere Kohlenwasserstoffe (1–300 amu)
- TOF300/TOFX Vakuum- und Gassensor (Massenspektrometer-Plattform, Demonstrator/Labormuster)
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Vakuummessung und Gasanalyse (Druck und Gaszusammensetzung in einem Gerät, Restgasanalyse,Prüfung | – | – | – | – | Gase (H₂O, H₂, N₂, O₂, CO, CO₂, Kohlenwasserstoffe, Helium) |
| Entwicklung und Herstellung von Vakuumsensoren, Restgasanalysatoren, Druck-, Durchfluss- undEngineering | – | – | – | – | – |
| TOFX/TOF300 Sensorplattform: Gesamtdruckmessung bis 10⁻¹⁰ mbar, Massenbereich 1–300 amu, MesszeitPrüfung | Gesamtdruck bis 10⁻¹⁰ mbar | – | – | – | Gase von Wasserstoff bis schwere Bestandteile wie Öle |
1 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| TOF300/TOFX Vakuum- und Gassensor (Massenspektrometer-Plattform, Demonstrator/Labormuster) | GRAUCH Vakuummesstechnik GmbH TOF300 / TOFX | – | Gesamtdruck bis 10⁻¹⁰ mbar, Massenbereich 1–300 amu, Messzeit ca. 10 ms | – | Jena |
Zusatzleistungen
Qualität und Prüftechnik
Die Mess- und Analyseverfahren umfassen Restgasanalyse, Helium-Lecktest und einen Sauberkeitsindex zur frühzeitigen Erkennung von Kontaminationen; Service, Wartung und Kalibrierung gehören zum Leistungsangebot.
| Nachweis | Jena |
|---|---|
| Service, Wartung und Kalibrierung | |
| Restgasanalyse und Helium-Lecktest |
Entwicklung des Unternehmens
Gründung als Deep-Tech-Startup in Jena; dreiköpfiges Gründerteam
Teilnahme am TRIP Thuringian Regional Innovation Program (Batch #7)
- 2026
Teilnahme an den Investor Days Thüringen 2026
- 2026
Premiere auf der Hannover Messe 2026, Halle 11, Stand F36