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Entwicklung und Bau automatisierter Reinigungssysteme für FOUP-Transportbehälter in der Halbleiterfertigung
GSEC GmbH
Radolfzell · Hausen · FurtwangenNeu auf Amplifa
Über GSEC
Die GSEC (German Semiconductor Equipment Company) GmbH wurde 2021 in Radolfzell gegründet und entwickelt automatisierte Equipment für die naßchemische Reinigung in der Halbleiterindustrie. Kernprodukt ist das patentierte GFPS-System zur Reinigung von FOUP-Transportbehältern, das mit separierter Reinigung auf Basis von deionisiertem Wasser und reiner Druckluft arbeitet und dabei bis zu 70 % weniger Energie und Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft) verbraucht als vergleichbare Systeme. Zu den Leistungen gehören Prozessentwicklung, Software-Entwicklung, Projektleitung und Engineering sowie der Support der im Feld installierten Anlagen. In die Systeme ist Messtechnik zur Überwachung der Reinigungsqualität im laufenden Prozess sowie optische Inspektion zur Detektion von Behälterbeschädigungen integriert. Für die EUV-Technologie, die neueste Generation der Belichtung, entwickelt GSEC Anlagen mit höchsten Anforderungen an Partikel- und Fremdmolekülfreiheit. Durch die Kooperation mit einem multinationalen japanischen Konzern und Partnerschaften mit Akteuren wie TCMC oder Intel greift das Unternehmen auf langjährige Erfahrung in der globalen Halbleiterindustrie zurück.
- Standort
- Radolfzell
- Verfahren
- FOUP-Reinigung von Transportbehältern (patentiertes GFPS-System, separierte Reinigung mit, Reinigung von Transportbehältern mit Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft), Entwicklung von Reinigungssystemen für EUV-Technologie (Partikel- und Fremdmolekülfreiheit der, Optische Inspektionssysteme zur Detektion von Behälterbeschädigungen, Herstellung automatisierter Equipment für naßchemische Reinigung (wet-chemical equipment), Automatisierte Reinigungssysteme (FOUP-Reinigung), Prozessentwicklung, Software-Entwicklung
- Werkstoffe
- GFPS-Reinigungssystem, Nasschemisches Reinigungsequipment, EUV-Reinigungssysteme, Integrierte Messtechnik, Optische Inspektionssysteme
- Gegründet
- 2021
- Mitarbeiter
- 11–50
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Chipfertigung (inkl. EUV-Technologie)
- 01
Prozessentwicklung
- 02
Engineering und Konstruktion
- 03
Software-Entwicklung
- 04
Fertigung der Reinigungssysteme
- 05
Integrierte Messtechnik und optische Inspektion
- 06
Montage und Inbetriebnahme
- 07
Support installierter Anlagen
Verfahren und Technologien
GFPS-Reinigungssystem
Patentiertes System zur separierten Reinigung von FOUP-Transportbehältern mit deionisiertem Wasser und reiner Druckluft.
Nasschemisches Reinigungsequipment
Automatisierte Anlagen für wet-chemical Reinigungsprozesse in der Halbleiterfertigung.
EUV-Reinigungssysteme
Anlagenentwicklung für die EUV-Technologie mit höchsten Anforderungen an Partikel- und Fremdmolekülfreiheit.
Integrierte Messtechnik
Zum Patent angemeldete Überwachung der Reinigungsqualität im laufenden Prozess.
Optische Inspektionssysteme
Detektion von Beschädigungen der Behälter bereits beim Eintreffen an der Maschine.
Standorte
Radolfzell
DEHauptsitz: Büro Software-Entwicklung, Engineering
- GFPS-Reinigungssystem (Prototyp zur Prozessentwicklung)
Hausen
DEBüro Projektleitung und Engineering, Service und Prozessentwicklung
Furtwangen
DEStandort
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| FOUP-Reinigung von Transportbehältern (patentiertes GFPS-System, separierte Reinigung mitEngineering | – | – | – | – | Transportbehälter (FOUP) für Halbleiterindustrie |
| Reinigung von Transportbehältern mit Reinstmedien (H2O, Stickstoff, hochreine Druckluft)Engineering | – | – | – | – | – |
| Entwicklung von Reinigungssystemen für EUV-Technologie (Partikel- und Fremdmolekülfreiheit derEngineering | – | – | – | – | – |
| Optische Inspektionssysteme zur Detektion von BehälterbeschädigungenPrüfung | – | – | – | – | – |
| Herstellung automatisierter Equipment für naßchemische Reinigung (wet-chemical equipment)Engineering | – | – | – | – | – |
1 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Automatisiertes Reinigungssystem für FOUP-Transportbehälter (GFPS) | GSEC GmbH GFPS | – | – | – | Radolfzell |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Historie
- 2021
Gründung der GSEC (German Semiconductor Equipment Company) GmbH in Radolfzell