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Ionenimplantation und Bestrahlung von Leistungshalbleitern, Materialanalyse und innovative Sensoren aus der Forschung
HZDR Innovation GmbH
Radeberg (HZDR Innovation Campus)Neu auf Amplifa
Über die HZDR Innovation GmbH
Die HZDR Innovation GmbH ist ein Technologietransfer-Unternehmen im Hochtechnologie-Umfeld mit Standort am HZDR Innovation Campus in Radeberg. Das zentrale Geschäftsfeld ist die Ionenimplantation: Im Ionenstrahlzentrum des Helmholtz-Zentrums Dresden-Rossendorf führt das Unternehmen Standard- und Hochenergie-Ionenimplantationen sowie die Ionenbestrahlung von Leistungshalbleitern durch, ergänzt um Elektronenbestrahlung. Ein breiter Ionen-Energiebereich, eine große Auswahl verfügbarer Ionenspezies und die Fähigkeit zur Umsetzung komplexer Spezialaufträge bilden die Basis der Dienstleistungen für Kunden weltweit. Darüber hinaus bietet die HZDR Innovation Materialanalyse, Mehrphasenmessungen und Transferdienstleistungen an. Das Produktportfolio umfasst flexible Temperatursensoren, Magnetfeldsensoren, Strahlungsdetektoren, Messtechnik, Magnetfeldspulen und Laborautomatisierungssoftware. Die Entwicklungen stammen aus Forschungsteams des HZDR und weiterer Wissenschaftseinrichtungen und werden bis zur Marktreife weiterentwickelt; zudem begleitet die GmbH Ausgründungsvorhaben und Startups.
- Standort
- Radeberg
- Verfahren
- Hochenergie-Ionenimplantation, Standard-Ionenimplantation, Ionenbestrahlung Leistungshalbleiter, Elektronenbestrahlung, Materialanalyse, Mehrphasenmessungen, Transferdienstleistungen / Technologietransfer, Ionenimplantation (Standard- und Hochenergie-Ionenimplantation)
- Werkstoffe
- Leistungshalbleiter, Siliziumwafer, Ionenimplantation, Elektronenbestrahlung
- Zertifikate
- ISO 9001
- Branchen
- Leistungselektronik / Leistungshalbleiter, Halbleiterindustrie, Hochtechnologie, Sensorik, Messtechnik, Startups / Spin-offs
- 01
Anfrage und Beratung
- 02
Substratvorbereitung
- 03
Ionenimplantation bzw. Bestrahlung
- 04
Materialanalyse / Prüfung
- 05
Auskunft und Transferdienstleistungen
Materialien und Verfahren
Siliziumwafer
Substratmaterial für Standard- und Hochenergie-Ionenimplantation.
Leistungshalbleiter
Werkstoff der Ionenbestrahlung zur Veredelung von Leistungselektronik.
Ionenimplantation
Standard- und Hochenergie-Implantation mit breitem Energiebereich und vielfältigen Ionenspezies.
Elektronenbestrahlung
Bestrahlungsdienstleistung ergänzend zur Ionentechnologie.
Standorte
Radeberg
DEStandort / HZDR Innovation Campus
- Werkstoffe
- Leistungshalbleiter, Siliziumwafer
- Anlagen des Ionenstrahlzentrums des HZDR (Dresden-Rossendorf)
Produkte und Bauteile
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Hochenergie-IonenimplantationOberfläche | – | – | – | – | Leistungshalbleiter, Siliziumwafer |
| Standard-IonenimplantationOberfläche | – | – | – | – | Leistungshalbleiter |
| Ionenbestrahlung LeistungshalbleiterOberfläche | – | – | – | – | Leistungshalbleiter |
| ElektronenbestrahlungOberfläche | – | – | – | – | – |
| MaterialanalysePrüfung | – | – | – | – | – |
| MehrphasenmessungenPrüfung | – | – | – | – | – |
| Transferdienstleistungen / TechnologietransferEngineering | – | – | – | – | – |
1 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Beschleunigeranlagen / Ionenimplantationsanlagen | Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (Ionenstrahlzentrum) | – | – | – | Ionenstrahlzentrum des HZDR, Dresden-Rossendorf |
Zusatzleistungen
Qualität
Die Dienstleistungen im Bereich Ionenimplantation werden unter Einhaltung hoher Qualitätsstandards nach ISO 9001 prozessiert.
| Nachweis | Radeberg |
|---|---|
| ISO 9001 |
Historie
- 2023
Dr. Richard Gloaguen (HZDR) erhielt den 2. Platz beim Sächsischen Staatspreis für Transfer 2023; Geschäftsführer Christian Christesen erhielt den Transfersonderpreis für das Ausgründungsvorhaben TheiaX.
- 2026
Erste Teilnahme an der APEC-Konferenz in Texas sowie Ausstellung auf der IIT in Villach; EFRE-Förderung für Strahlungsdetektorherstellung und ein ERP-System sowie Förderung des Ausbaus des Standorts Radeberg durch den Freistaat Sachsen.