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Automationssoftware und Inspektionslösungen für Keyence VHX Mikroskope in der Wafer- und Materialanalyse
IDC Micro Inspection GmbH
SchweizNeu auf Amplifa
Über IDC Micro Inspection
IDC Micro Inspection GmbH entwickelt ScanX, eine Automations- und Steuerungssoftware für Keyence VHX Digitale Mikroskope. Die Software automatisiert Mikroskop-Inspektionen durch Rezept-basiertes Scannen, automatische Referenzmarken- und Fiducial-Erkennung, unbegrenztes Image Stitching sowie automatische Partikeldetektion mit Reports. Über eine HTTP-REST-API lässt sich ScanX aus Python und MATLAB steuern; KLARF- und SINF-Map-Dateien werden importiert und verarbeitet. Ergänzend bietet das Unternehmen eigene Hardware wie Multi-Zone Wafer Vacuum Chucks für 100–300 mm Wafer, Universal Bread Boards für die SL1 Stage sowie einen anpassbaren 300-mm-Inspektionsstage (MI-300 mit VK-S1000K). ScanX steuert Keyence Mikroskope und Stages, Aerotech-, Peak Metrology- und Prior Scientific-Stages. Kunden kommen aus Halbleiter-/Wafer-Inspektion, Mikroskopie/Materialanalyse und Forschung. Das Unternehmen bietet Online-Demos mit einem voll ausgestatteten VHX X1 mit SL1 300-mm-Stage an.
- Standort
- Schweiz
- Verfahren
- Automatisierte Mikroskop-Inspektion / Mikroskopie-Scanning (ScanX Software für Keyence VHX), Automationssoftware für Keyence VHX Mikroskope (ScanX), Automatisches Scannen nach Rezepten, Referenzmarken-/Fiducial-Erkennung, Bild-Stitching (unbegrenzt), HTTP REST API für Python und MATLAB, KLARF- und SINF-Map-Handling, Automatische Partikeldetektion und Reports
- Werkstoffe
- Automations- und Steuerungssoftware, HTTP REST API (Python/MATLAB), IDC 300-mm-Inspektionsstage mit VK-S1000K, Multi-Zone Wafer Vacuum Chuck für VHX SL1
- Branchen
- Halbleiter/Wafer-Inspektion, Mikroskopie/Materialanalyse, Forschung
- 01
Software-Entwicklung (ScanX)
- 02
Hardware-Entwicklung (Stages, Vacuum Chucks, Bread Boards)
- 03
Integration & Inbetriebnahme
- 04
Support & Online-Demos
Produkte & Kompatibilität
Automations- und Steuerungssoftware
Rezept-basierte Steuerung von Keyence VHX Mikroskopen mit Stitching, Partikeldetektion und KLARF/SINF-Map-Handling.
HTTP REST API (Python/MATLAB)
Ermöglicht die Integration und Steuerung von ScanX-Prozessen in eigene Python- und MATLAB-Skripte.
IDC 300-mm-Inspektionsstage mit VK-S1000K
Anpassbarer Positionier- und Inspektionsstage für 300-mm-Wafer.
Multi-Zone Wafer Vacuum Chuck für VHX SL1
Für Wafer 100–300 mm (flat, notch bottom, notch left) sowie Dicing Frames 6/8/12 inch.
Standort
Schweiz
CHEntwicklung, Integration und Support
- Keyence VHX X1 Mikroskop
- Keyence VHX-7000N (VHX-7100/7020)
- Keyence SL1 Stage (300×300 mm)
- Keyence S750E Stage (100×100 mm)
- IDC MI-300 300-mm-Stage mit VK-S1000K
- Aerotech Stages
- Peak Metrology Stages
- Prior Scientific Stages und Controller
- Multi-Zone Wafer Vacuum Chucks 100–300 mm
- Universal Bread Board (377×388 mm, M4/25 mm)
Komponenten
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Automatisierte Mikroskop-Inspektion / Mikroskopie-Scanning (ScanX Software für Keyence VHX)Prüfung | – | – | – | – | – |
10 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Digitales Mikroskop | Keyence VHX X1 | – | – | – | – |
| Digitales Mikroskop | Keyence VHX-7000N with VHX-7100 or VHX-7020 | – | – | – | – |
| Positionier-/Inspektionsstage | Keyence SL1 | – | 300x300mm | – | – |
| Positionier-/Inspektionsstage | Keyence S750E | – | 100x100mm | – | – |
| Positionier-/Inspektionsstage | Aerotech | – | – | – | – |
| Positionier-/Inspektionsstage | Peak Metrology | – | – | – | – |
| Customizable 300mm stage | IDC MI-300 with VK-S1000K | – | 300mm | – | – |
| Positionier-/Inspektionsstage und Controller | Prior Scientific | – | – | – | – |
| Wafer Vacuum Chuck (Multi-Zone) für Keyence VHX SL1 | – | – | für Wafer 100–300mm; Dicing Frames 6/8/12 inch | – | – |
| Universal Bread Board für SL1 Stage | – | – | 377x388mm, M4 Gewinde mit 25mm Teilung | – | – |
Zusatzleistungen