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Sondermaschinen und Präzisionszerspanung für MEMS- und Mikrotechnik-Industrie
idonus sàrl
Hauterive (Neuchâtel), Schweiz · Innoparc 1Neu auf Amplifa
Über idonus
Die idonus sàrl wurde 2004 als Start-up des Institute of Microengineering der Universität Neuchâtel (heute IEM/EPFL) gegründet und ist auf Entwicklung und Fertigung von Spezialausrüstung für die MEMS- und Uhrenindustrie spezialisiert. Das Portfolio umfasst UV-LED-Expositionssysteme für die Photolithografie inklusive Retrofit von Mask Alignern, HF-Dampfphasenätzer (VPE) für siliziumbasierte Bauteile, IR-Mikroskope für Wafer-Inspektion sowie seit 2016 Ionimplantationsdienstleistungen und Sondermaschinen zur Oberflächenbehandlung. Ergänzend offersiert das Unternehmen Maschinenbearbeitungsdienstleistungen (5-Achsen-CNC-Fräsen, CNC-Drehen, Funkenerosion, Flachschleifen, Polieren, Löten) für Prototypen, Einzelteile und Kleinserien – auch an spröden Werkstoffen wie Silizium, Glas, Quarz und Keramik. Hinzu kommen Engineering-Dienstleistungen in Mechanik, MEMS, Nichtabbildender Optik und Machine Vision sowie Messsysteme mit telezentrischer Beleuchtung. Der Standort im Innoparc 1 in Hauterive bei Neuchâtel liegt im Zentrum des Schweizer Watch Valley; mit vertikaler Integration ermöglicht das Unternehmen schnelles Prototyping und kurze Lieferzeiten. Vertriebspartner betreuen Kunden weltweit, u. a. in Asien, Nordamerika und Brasilien.
- Standort
- Hauterive / Neuchâtel
- Verfahren
- 5 axes CNC milling (5-Achs-Fräsen), CNC turning (CNC-Drehen), Electrical discharge machining (EDM, Funkenerosion), Polishing (Polieren), Conventional machining (konventionelle Zerspanung), Surface grinding (Flachschleifen), Soldering (Löten), Machining of brittle materials (Silicon, glass, quartz, ceramic)
- Werkstoffe
- Aluminium, Nichteisenmetalle (non-ferrous metals), Stahl, Edelstahl (stainless steel), Polymere (Polymers / synthetics), Silizium, Glas, Borofloat® glass
- Gegründet
- 2004
- Branchen
- MEMS-/Mikrofertigungsindustrie, Halbleiter-/Mikrotechnologie, Uhrenindustrie, Forschungseinrichtungen, Uhrenindustrie (Watch Valley), Halbleiter/Mikrotechnologie
- 01
Engineering und CAD-Konstruktion
- 02
Machining (5-Achsen-CNC-Fräsen, CNC-Drehen, EDM, Schleifen, Polieren)
- 03
Löten und Fertigung
- 04
Oberflächenbehandlung (Ionimplantation, HF-Dampfphasenätzen)
- 05
Systemsintegration (Machine Vision, UV-LED)
- 06
Prüfung und Wafer-Inspektion
Werkstoffe und Verfahren
Aluminium und Nichteisenmetalle
Zerspanung von Prototypen und Kleinserien für Mikrotechnik und Sondermaschinen.
Stahl
Bearbeitung per CNC-Fräsen, Drehen, EDM und Flachschleifen.
Edelstahl
Präzisionsbauteile mit korrosionsbeständigem Werkstoff für Labor- und Vakuumanwendungen.
Polymere
Zerspanung von Kunststoffen für kundenspezifische Komponenten.
Silizium
Bearbeitung spröder Werkstoffe sowie HF-Dampfphasenätzen zur MEMS-Release.
Glas und Borofloat®
Fertigung von z. B. Glasschucks für Waferhandling.
Quarz und Keramik
Zerspanung anspruchsvoller spröder Werkstoffe für Mikrotechnik.
Standort
Hauterive (Neuchâtel)
CHHauptsitz: Engineering, Machining-Services, Sondermaschinenbau
- Losgröße
- Prototyp, Einzelteile, Kleinserien
- Werkstoffe
- Aluminium, Stahl, Edelstahl, Polymere, Silizium, Glas, Quarz, Keramik
- 5-Achs-CNC-Fräsmaschine
- CNC-Drehmaschine
- Funkenerosionsmaschine (EDM)
- Flachschleifmaschine
- HF Vapor Phase Etcher VPE100
- UV-LED Exposure System UV-EXP150R / UV-EXP300S
- IR-Mikroskop IR-M
- Ionimplantations-Sondermaschinen
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| 5 axes CNC milling (5-Achs-Fräsen)Zerspanung | – | – | – | Prototyping / Einzelteile – kleine Serien | Aluminium und Nichteisenmetalle, Stahl und Edelstahl, Polymere, Silizium, Glas, Quarz, Keramik |
| CNC turning (CNC-Drehen)Zerspanung | – | – | – | Prototyping / Einzelteile – kleine Serien | Aluminium und Nichteisenmetalle, Stahl und Edelstahl, Polymere, Silizium, Glas, Quarz, Keramik |
| Electrical discharge machining (EDM, Funkenerosion)Zerspanung | – | – | – | – | Metalle |
| Polishing (Polieren)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Conventional machining (konventionelle Zerspanung)Zerspanung | – | – | – | – | Aluminium und Nichteisenmetalle, Stahl und Edelstahl, Polymere |
| Surface grinding (Flachschleifen)Zerspanung | – | – | – | – | Metalle |
| Soldering (Löten)Fügen | – | – | – | – | Metalle |
| Machining of brittle materials (Silicon, glass, quartz, ceramic)Zerspanung | – | – | – | – | Silizium, Glas, Quarz, Keramik |
| Ion implantation surface treatment (services)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| HF vapor phase etching (Ätzen von Silizium-basierten Bauteilen, MEMS release)Oberfläche | – | – | – | – | Silizium, SiO₂ (Opferschicht) |
| UV-LED photolithography exposure (inkl. Retrofit von Mask Alignern)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| UV curing / UV-BehandlungOberfläche | – | – | – | – | – |
| Engineering services & prototyping / small series manufacturingEngineering | – | – | – | kleine Serien | – |
| Special machinery design & manufacturing (MEMS equipment, Sondermaschinenbau)Engineering | – | – | – | – | – |
| Machine vision & optical measurement solutions (telecentric optics)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Wafer inspection (IR microscope)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Mechanical conception (CAD) and drawingsEngineering | – | – | – | – | – |
| Automated gluing station (robot-based Klebeapplikation mit Machine Vision)Fügen | – | – | – | – | – |
13 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| 5-Achs-CNC-Fräsmaschine | – | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| CNC-Drehmaschine | – | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Funkenerosionsmaschine (EDM) | – | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Flachschleifmaschine | – | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| HF Vapor Phase Etcher (VPE), eigenes Produkt (z. B. VPE100) | idonus VPE100 | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| UV-LED Exposure System (eigenes Produkt, z. B. UV-EXP150R / UV-EXP300S) | idonus UV-EXP150R | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Ion implantation machines for surface treatment (Sondermaschinen) | idonus | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| IR microscope for wafer inspection (eigenes Produkt IR-M) | idonus IR-M | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Retrofit: Mask Aligner (z. B. EVG® 620) mit UV-EXP150R | EVG / idonus EVG 620 + UV-EXP150R | – | bis 4-inch / 3-inch Wafer (Beispiele) | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Automated gluing station (Kleberoboter mit Machine Vision) | – | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Vacuum-compatible high-speed XY table (custom engineering) | idonus | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Linear XY stage with large aperture for bottom side alignment (PLX photolithography equipment) | idonus PLX | – | – | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
| Wafer Chuck for Uniform Electrodeposition (WEDC), 3-inch version | idonus WEDC | – | 3-inch Wafer | – | Hauterive / Neuchâtel, Switzerland |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Historie
- 2004
Gründung als Start-up des Institute of Microengineering der Universität Neuchâtel (IMT, heute IEM/EPFL)
- 2014
idonus HF Vapor Phase Etcher in wissenschaftlicher Publikation (J. Micromechanics and Microengineering) zitiert
- 2016
Aufnahme von Ionimplantations-Dienstleistungen und -Maschinen für Oberflächenbehandlung
- 2019
Teilnahme am Tag der offenen Tür im Innoparc 1, Hauterive
- 2021
Einführung der zweiten Generation (Gen. 2) der UV-LED-Expositionssysteme