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Hochpräzise Roboter- und Probing-Lösungen für die Mikroskopie und Halbleiteranalyse.
Imina Technologies SA
Schweiz (Hauptsitz)Neu auf Amplifa
Über Imina Technologies
Imina Technologies SA ist ein 2009 in der Schweiz gegründetes Unternehmen, das aus über zehn Jahren Forschung am Robotik-Labor der EPFL hervorging. Das Unternehmen entwickelt und fertigt hochpräzise Robotiklösungen für Mikroskope, mit denen Proben von integrierten Schaltkreisen, Wafers, MEMS und Nanowires bis in den Nanometerbereich positioniert, kontaktiert und elektrisch charakterisiert werden können. Die Produktfamilie miBot™ umfasst die NANO-Produktlinie für in-situ Nanoprobing und elektrische Fehleranalyse in Rasterelektronenmikroskopen (SEM, FIB, Dual Beam) sowie die MICRO-Produktlinie für optische Mikroskope, Probe Stations und Inspektionswerkzeuge; die Precisio™-Software steuert Messabläufe, Rezeptverwaltung und Reporting. Neben dem Produktspektrum bietet das Unternehmen Engineering-Services für mechanische, elektrische und Software-Integration in Fremdgeräte, Nanoprobing- und EFA-Dienstleistungen inklusive Sample-Präparation sowie Installation, Schulung und Support an. Kunden sind führende Halbleiterhersteller und renommierte Forschungsinstitute weltweit; der Vertrieb erfolgt international über ein Partnernetzwerk.
- Standort
- Schweiz (Hauptsitz)
- Verfahren
- Nanoprobing und elektrische Fehleranalyse (EFA) als Dienstleistung inkl. Sample-Präparation, Engineering-Services: mechanische, elektrische und Software-Integration von, Installation, Schulung, Online-Coaching, Site Acceptance Tests, SWAP-Programm, Engineering Services (mechanische, elektrische und Software-Integration), Installation und fortgeschrittenes Training, Online-Coaching, Site Acceptance Tests, SWAP-Programm (Ersatzsystem innerhalb von 3 Werktagen)
- Werkstoffe
- Halbleiter (integrierte Schaltungen, Wafer, MEMS, Nanowires), Integrierte Schaltkreise, Wafer, MEMS, Nanowires
- Zertifikate
- Site Acceptance Tests, Feasibility-Studien im Applikationslabor, SWAP-Programm (Ersatzsystem in 3 Werktagen)
- Gegründet
- 2009
- Branchen
- Halbleiterindustrie, Mikro- und Nanotechnologie, Failure Analysis, Materialforschung / Forschungsinstitute
- 01
Forschung & Entwicklung
- 02
Mechanische, elektrische und Software-Integration
- 03
Installation & Training
- 04
Site Acceptance Tests
- 05
Support & SWAP-Programm
- 06
Nanoprobing-/EFA-Dienstleistungen
Proben & Messobjekte
Integrierte Schaltkreise
Elektrische Charakterisierung von Halbleiterbauelementen auf den kleinsten Technologieknoten.
Wafer
Probing und Fehleranalyse an Halbleiterwafern.
MEMS
Manipulation und Charakterisierung von MEMS-Strukturen.
Nanowires
Isolation einzelner Partikel und Prüfung von Nanowires bis in den Nanometerbereich.
Standorte
Schweiz (Hauptsitz)
CHHauptsitz, Entwicklung, Applikationslabor und Services
- Werkstoffe
- Halbleiterbauelemente (ICs, Wafer, MEMS, Nanowires)
- Nanoprobing-Systeme miBot™ (NANO Line)
- Mikroprobing-Systeme miBot™ (MICRO Line)
- Precisio™ Software
Produkte & Lösungen
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Nanoprobing und elektrische Fehleranalyse (EFA) als Dienstleistung inkl. Sample-PräparationPrüfung | – | – | – | – | Halbleiterbauelemente (ICs, Wafer, MEMS, Nanowires) |
| Engineering-Services: mechanische, elektrische und Software-Integration vonEngineering | – | – | – | – | – |
| Installation, Schulung, Online-Coaching, Site Acceptance Tests, SWAP-ProgrammEngineering | – | – | – | – | – |
5 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Nanoprobing-Systeme (NANO Produktlinie) für SEM, FIB oder Dual Beam | Imina Technologies miBot™ (NANO Line) | – | – | – | – |
| Mikroprobing-Systeme (MICRO Produktlinie) für optische Mikroskope, Probe Stations oder | Imina Technologies miBot™ (MICRO Line) | – | – | – | – |
| Integration in Rasterkraftmikroskope (AFM) | Bruker Dimension Icon™, Dimension Edge™ | – | – | – | – |
| Integration in in-situ Nanoindenter | Alemnis ASA | – | – | – | – |
| Integration in Nanoindenter | Bruker Hysitron TI 980 | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Qualität & Service
Site Acceptance Tests an kundenspezifischen Proben nach vorausgehender Feasibility-Studie im Applikationslabor sowie ein SWAP-Programm mit Austauschsystem innerhalb von drei Werktagen minimieren Ausfallzeiten.
| Nachweis | Schweiz (Hauptsitz) |
|---|---|
| Site Acceptance Tests | |
| Feasibility-Studien im Applikationslabor | |
| SWAP-Programm (Ersatzsystem in 3 Werktagen) |
Historie
- 2009
Gründung von Imina Technologies SA durch Guillaume Boetsch und Benoît Dagon (Alumni des EPFL Robotic Systems Laboratory) nach über 10 Jahren Forschung an der EPFL.
- 2010
Beginn der Kommerzialisierung des miBot™ – laut Unternehmen der weltweit kompakteste mobile Roboter mit Nanometer-Positionierungsauflösung; Auszeichnungen u. a. KPMG Tomorrow's Market Award, Venture Kick, Venture Leaders, CTI Label.
- 2015
Fokussierung auf die Halbleiterindustrie; Markteinführung elektrischer Probing-Lösungen für Charakterisierung, Reliability-Tests und Failure Analysis.