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Insenso entwickelt und fertigt MEMS-Drucksensor-Dies, Sensor-Module und Transmitter für industrielle, medizinische und automotive Anwendungen.

Insenso Logo

Insenso GmbH

Rudower Chaussee 29, 12489 BerlinNeu auf Amplifa

2020Gegründet
0,48 x 0,48 mmKleinster Sensor-Die (IPD53)
40 mbar – 40 barMessbereiche der Sensor-Module

Über Insenso

Die Insenso GmbH wurde 2020 in Berlin gegründet und bringt mehr als 30 Jahre Sensorerfahrung im Kernteam mit. Das Unternehmen forscht, entwickelt und produziert hochpräzise MEMS-Drucksensor-Dies, Sensor-Module und Druckaufnehmer (Transmitter) sowie integrierte Sensorlösungen. Die Fertigung der MEMS-Chips basiert auf Silizium-Wafern mit piezoresistiver Wheatstone-Brücke, Buried-Cavity-Technologie und Glasrückplatte; der kleinste Die (IPD53) misst 0,48 x 0,48 mm. Zu den Produkten zählen Sensor-Dies, Modulsysteme wie das IPM10 (Messbereiche 40 mbar bis 40 bar) und Transmittermontagen. Die Technologien kommen in Öl und Gas, chemischer Verfahrenstechnik, Metallurgie, Baustoffen, Industrieautomation, IoT, Automotive, Medizintechnik und HVAC zum Einsatz. Neben Standardprodukten entwickelt Insenso kundenspezifische Sensing-Lösungen und bietet Application Support; die Produkte sind für industrielle Anwendungen weltweit vorgesehen.

Standort
Berlin
Verfahren
Herstellung von MEMS-Drucksensor-Dies (Piezoresistive Wheatstone-Brücke, Buried-Cavity-Technologie),, Montage/Verkauf von Drucksensor-Modulen (z. B. IPM10), Herstellung von Drucktransmittern, Entwicklung und Anpassung von Sensing-Lösungen für spezifische Kunden-/Industrie-Anforderungen, Entwicklung und Produktion von MEMS-Drucksensor-Dies, Sensor-Module, Druckaufnehmer (Transmitter), Application Support
Werkstoffe
Silizium (MEMS-Chip, Piezoresistive Wheatstone-Brücke), Glas (Backplate), Silizium (MEMS-Chip)
Gegründet
2020
Branchen
Öl und Gas, Chemische Verfahrenstechnik, Metallurgie, Baustoffe, Industrieautomation, IoT
  1. 01

    Wafer-Fabrikation (MEMS)

  2. 02

    Die-Separation und Wafer-Handling

  3. 03

    Verpackung (Tape & Frame / Waffle Pack)

  4. 04

    Montage zu Sensor-Modulen

  5. 05

    Montage von Drucktransmittern

  6. 06

    Entwicklung kundenspezifischer Lösungen und Application Support

Werkstoffe & Verfahren

Si

Silizium (MEMS-Chip)

Piezoresistive Wheatstone-Brücke in Buried-Cavity-Technologie als Messelement der Drucksensor-Dies.

Glas

Glas (Backplate)

Dient als Glasrückplatte zur Anbindung der piezoresistiven Siliziumbrücke.

Standort

Berlin

DE

Entwicklung und MEMS-Fertigung

Stückgewicht / Größe
Die 0,48 x 0,48 mm
Werkstoffe
Silizium, Glas
  • MEMS-Fertigungsanlagen (Wafer-Fabrikation)
  • Wafer-Handling
  • Tape & Frame
  • Waffle Pack Verpackung

Branchen

Öl und GasChemische VerfahrenstechnikMetallurgieBaustoffeIndustrieautomationIoTAutomotiveMedizintechnikHVAC

Verfahren & technische Grenzen

VerfahrenToleranzMax. BauteilGewichtLosgrößeWerkstoffe
Herstellung von MEMS-Drucksensor-Dies (Piezoresistive Wheatstone-Brücke, Buried-Cavity-Technologie),Engineering–0.48 mm × 0.48 mm––Silizium, Glas (Backplate)
Montage/Verkauf von Drucksensor-Modulen (z. B. IPM10)Montage––––Silizium, Glas
Herstellung von DrucktransmitternMontage––––Silizium, Glas
Entwicklung und Anpassung von Sensing-Lösungen für spezifische Kunden-/Industrie-AnforderungenEngineering––––Silizium, Glas

2 Anlagen & Maschinen

MaschineHersteller / ModellAnzahlArbeitsraumBaujahrStandort
MEMS-Fertigungsanlagen (Wafer-Fabrikation)Insenso–––Berlin
Wafer-Handling / Tape & Frame / Waffle Pack Verpackung––––Berlin

Zusatzleistungen

Entwicklung und Produktion von MEMS-Drucksensor-DiesSensor-ModuleDruckaufnehmer (Transmitter)Application Supportkundenspezifische Sensorlösungen

Historie

  1. 2020

    Gründung der Insenso GmbH; Kernteam mit über 30 Jahren Erfahrung in der Sensortechnologie

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