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Prüfanlagen und Inspektionssysteme für die Fertigung in Solar, Keramik & Glas, Kunststoff, Metall, Halbleiter und Elektronik
Intego GmbH
91058 Erlangen (Henri-Dunant-Straße 8)Neu auf Amplifa
Über Intego
Die Intego GmbH ist ein mittelständisches Technologieunternehmen mit Sitz in Erlangen, das optische Inspektions- und Prüfanlagen für die industrielle Fertigung entwickelt und baut. Mit über 25 Jahren Industrie- und Markterfahrung und mehr als 500 installierten Prüfanlagen weltweit beliefert Intego die Branchen Solar (Ingots, Wafer, Zellen, Module), Keramik & Glas, Kunststoff (Automotive, Medizintechnik, Displays), Metall, Halbleiter und Elektronik. Die Anlagen basieren auf Bildverarbeitung, NIR- und Lumineszenzmessung, Lock-in-Thermografie sowie 3D-Messtechnik. Konstruktion und Produktion der Sondermaschinen erfolgen in einer eigenen Konstruktionsabteilung und Produktion am Standort Erlangen; regelmäßig werden auch Großaufträge von über 50 Systemen an internationale Kunden geliefert. Zu den geprüften Werkstoffen zählen Silizium, SiC, GaAs, GaN, Germanium, Saphir, Quarzglas, Glas, Keramik, Kunststoff und Metall. Intego bietet kostenfreie Machbarkeitsstudien auf Basis von Musterteilen und integriert die Anlagen in bestehende Fertigungslinien inklusive Handhabung, Sortieren, Markieren und Reinigen.
- Standort
- Erlangen
- Verfahren
- ORION NIR Inspektion von Silizium-Ingots/Blöcken (Erkennung SiN/SiC-Einschlüsse), ORION 3D Geometrievermessung von Siliziumblöcken, ANTARES Mikrorissprüfung von Wafern und Zellen (NIR, kontaktfrei), GEMINI Kornstrukturanalyse von Wafern, APUS Druckprüfung und Endkontrolle von Solarzellen (Auflösung 20 µm, ARC-Schichtdickenmessung), VELA String Inspektion (Prüfung von Solarstrings im Stringer, Lötpunkte), VELA Layup/Matrix- und Laminat-Prüfung von Solarmodulen, MODULUM Lumineszenzmessung (EL/PL, Ladungsträgerlebensdauer, Eisenkonzentration)
- Werkstoffe
- Silizium (mono- und multikristallin), Siliziumkarbid (SiC), Siliziumnitrid (Si3N4), Galliumarsenid (GaAs), Galliumnitrid (GaN), Germanium (Ge), Saphir, Quarzglas
- Zertifikate
- DIN ISO 10110 / MIL-PRF-13830B
- Branchen
- Solarfertigung (Ingots, Wafer, Zellen, Module), Keramik & Glas, Kunststoff (Automotive, Medizintechnik, Displays), Metall, Halbleiter, Elektronik (Batterien, Leistungselektronik)
- 01
Voruntersuchung / Machbarkeitsstudie mit Musterteilen
- 02
Konstruktion (eigene Konstruktionsabteilung)
- 03
Produktion und Sondermaschinenbau
- 04
Integration von Bildverarbeitung, Thermografie, NIR- und 3D-Messtechnik
- 05
Systemintegration in Fertigungslinien (Handhabung, Sortieren, Markieren,
Standorte
Erlangen
DEHauptsitz, Entwicklung, Konstruktion und Produktion
- Werkstoffe
- Silizium, SiC, GaAs, GaN, Germanium, Saphir, Quarzglas, Glas, Keramik, Kunststoff, Metall
- ORION NIR / ORION 3D
- ANTARES Mikrorissprüfsystem
- GEMINI Kornstrukturanalyse
- APUS Druckprüfsystem
- VELA String/Layup/Laminat-Prüfsysteme
- MODULUM Lumineszenzmesssystem
- SPICA Lock-in-Thermografiesystem
- CORUS 3D-Messsystem
Bauteile & Prüfsysteme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| ORION NIR Inspektion von Silizium-Ingots/Blöcken (Erkennung SiN/SiC-Einschlüsse)Prüfung | – | 1000 mm × 210 mm × 210 mm | – | – | Silizium |
| ORION 3D Geometrievermessung von SiliziumblöckenPrüfung | Genauigkeit besser als 10 µm | 1000 mm × 210 mm × 210 mm | – | – | Silizium |
| ANTARES Mikrorissprüfung von Wafern und Zellen (NIR, kontaktfrei)Prüfung | Positionsgenauigkeit +/-5 mm | 156 mm × 156 mm | – | – | Silizium |
| GEMINI Kornstrukturanalyse von WafernPrüfung | – | – | – | – | Silizium |
| APUS Druckprüfung und Endkontrolle von Solarzellen (Auflösung 20 µm, ARC-Schichtdickenmessung)Prüfung | – | – | – | – | Silizium |
| VELA String Inspektion (Prüfung von Solarstrings im Stringer, Lötpunkte)Prüfung | – | – | – | – | Silizium |
| VELA Layup/Matrix- und Laminat-Prüfung von SolarmodulenPrüfung | – | 2,0 m × 1,4 m | – | – | Silizium, Glas |
| MODULUM Lumineszenzmessung (EL/PL, Ladungsträgerlebensdauer, Eisenkonzentration)Prüfung | – | 0,9 m × 1,1 m × 0,17 m | – | – | Silizium, SiC, Germanium, GaN, GaAs, Kunststoff |
| Prüfung optischer Komponenten (Linsen, Mikrolinsenarrays, nach DIN ISO 10110, MIL-PRF-13830B)Prüfung | – | – | – | – | Glas, Kunststoff, Quarzglas, Saphir |
| Inspektion von Keramik & Glas (Display- & Deckgläser, Wafer, Quarzglas, Saphir Bricks, Boules,Prüfung | – | – | – | – | Glas, Quarzglas, Saphir, Keramik |
| Prüfung von Metallteilen (Rohre, Laserschweißnähte, Kanülen, Brennstoffzellen, Oberflächenprüfung)Prüfung | – | – | – | – | Metall |
| Prüfung von Halbleiter-Wafern (Rohwafer, epitaxierte Wafer, gesägte Wafer, Photolumineszenzscanner)Prüfung | – | – | – | – | Silizium |
| SPICA Lock-in-Thermografie (Elektronik, Batterien, Prüfung elektrischer Eigenschaften)Prüfung | – | – | – | – | Silizium, Kunststoff |
| Transmissionsmessung von Kunststoffteilen und FolienPrüfung | – | – | – | – | Kunststoff |
| Prüfung von Kunststoff-SchweißnähtenPrüfung | – | – | – | – | Kunststoff |
| CORUS 3D-Messsystem (Oberflächen- und Volumendefekte)Prüfung | – | – | – | – | Silizium, Metall |
| Sondermaschinenbau und Automatisierung (Handhabung, Sortieren, Markieren, Reinigen)Montage | – | – | – | – | Metall, Kunststoff |
10 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| NIR-Inspektionssystem für Siliziumblöcke | Intego ORION NIR / ORION SHR | – | Blöcke bis 210 x 210 x 1000 mm³ | – | – |
| 3D-Geometrievermessungssystem | Intego ORION 3D | – | Blöcke bis 210 x 210 x 1000 mm³ | – | – |
| Mikrorissprüfsystem (inline/stand-alone) | Intego ANTARES | – | Wafer/Zellen 156 x 156 mm², Durchsatz 4000 Wafer bzw. 2400 Zellen/h | – | – |
| Kornstrukturanalysesystem | Intego GEMINI | – | – | – | – |
| Druckprüf- und Endkontrollsystem | Intego APUS | – | Durchsatz bis 3600 Zellen/h, Auflösung 20 µm | – | – |
| String-Prüfsystem | Intego VELA String | – | – | – | – |
| Layup/Matrix- und Laminat-Prüfsystem | Intego VELA Layup/Matrix | – | Layups/Laminate bis 1,4 x 2,0 m² | – | – |
| Lumineszenzmesssystem (EL/PL) | Intego MODULUM | – | Ladevolumen 0,17 x 1,1 x 0,9 m; Bildbereich 170 x 170 mm²; System 2 x 2,1 x 1,1 m | – | – |
| Lock-in-Thermografiesystem | Intego SPICA | – | – | – | – |
| 3D-Messsystem | Intego CORUS | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
Intego kombiniert standardisierte Prüfverfahren mit Normen wie DIN ISO 10110 und MIL-PRF-13830B für optische Komponenten und realisiert Systemauflösungen von bis zu 10 µm (Wafergeometrie) bzw. 20 µm (Druckprüfung) bei Durchsätzen von bis zu 4000 Wafern pro Stunde.
| Nachweis | Erlangen |
|---|---|
| DIN ISO 10110 / MIL-PRF-13830B |
Historie
- 2025
Beitritt zum Optica-Netzwerk (ehemals OSA) Anfang 2025; Portfolio erweitert um Inspektionssysteme für optische Komponenten aus Glas und Kunststoff
Über 25 Jahre Industrie- und Markterfahrung (Stand ca. 2025)