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Entwicklung und Fertigung von TOF-SIMS- und LEIS-Instrumenten für Oberflächenanalyse sowie analytischer Service in Kooperation mit Tascon.
IONTOF GmbH
MünsterNeu auf Amplifa
Über IONTOF
Die IONTOF GmbH mit Sitz in Münster entwickelt und fertigt Instrumente für die Oberflächenanalyse auf Basis von Ionenstrahltechnik. Das Produktportfolio umfasst TOF-SIMS-Instrumente (Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometrie) der Reihen M6, M6 Plus und M6 Hybrid SIMS sowie das LEIS-Instrument Qtac für die quantitative Charakterisierung der obersten Atomlage (Low Energy Ion Scattering). Die Geräte ermöglichen Oberflächenspektroskopie, Oberflächenimaging, Tiefenprofilierung im Dual-Beam-Modus, 3D-Analyse, retrospektive Analyse sowie TOF MS/MS mit CID-Fragmentierung; die M6 Plus-Plattform kombiniert SIMS mit In-situ-Rastermikroskopie (SPM). Zu den analysierten Materialklassen zählen Metalle, Halbleiter, Polymere, Glas, Keramik, Biomaterialien und Pharmazeutika. Anwendungen finden sich in Branchen wie Halbleiter, Pharmazie, Lacke und Beschichtungen, Papier und Katalyse. Für analytischen Service kooperiert IONTOF eng mit der Schwesterfirma Tascon in Münster; die IONTOF-Gruppe umfasst vier Unternehmen in Deutschland, den USA und Japan. Der Hauptsitz liegt im Technologiehof nahe der Universität Münster.
- Standort
- Münster
- Verfahren
- TOF-SIMS (Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometrie) - Oberflächenanalyse,, LEIS (Low Energy Ion Scattering) - quantitative Charakterisierung der obersten Atomlage, TOF MS/MS mit CID-Fragmentierung zur Molekülstrukturaufklärung, Dual Beam Tiefenprofilierung, In-situ SPM (Scanning Probe Microscopy) kombiniert mit SIMS, Orbitrap SIMS für organische SIMS-Anwendungen, Probenerwärmung und -kühlung während der Analyse (closed-loop), Analytischer Service (Oberflächenanalyse, in Kooperation mit Tascon; auch XPS und optische
- Werkstoffe
- Metalle, Halbleiter, Polymere, Glas, Keramik, Biomaterialien, Pharmazeutika, Farben und Beschichtungen
- Zertifikate
- Analytischer Service (TOF-SIMS, LEIS, XPS), ISO 9001
- Gegründet
- 1989
- Branchen
- Halbleiter, Polymere, Lacke und Beschichtungen, Biomaterialien, Pharma, Glas
- 01
Entwicklung der Ionentechnik und Massenspektrometer
- 02
Engineering und Konstruktion der Instrumente
- 03
Fertigung und Montage der TOF-SIMS- und LEIS-Geräte
- 04
Softwareentwicklung (SurfaceLab 7)
- 05
Analytischer Service mit Tascon
- 06
Service, Schulungen und weltweiter Support
Analytische Verfahren und analysierte Materialien
TOF-SIMS (Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometrie)
Hochempfindliche Oberflächenanalyse für Spektroskopie, Imaging, Tiefenprofile und 3D-Analyse an Metallen, Halbleitern, Polymeren, Glas, Keramik und Biomaterialien.
LEIS (Low Energy Ion Scattering)
Quantitative Charakterisierung der obersten Atomlage, insbesondere für Katalysatoren und Metalle.
TOF MS/MS mit CID-Fragmentierung
Molekülstrukturaufklärung, z. B. bei Polymeren und organischen Proben.
In-situ SPM kombiniert mit SIMS
Kombination aus hochauflösender SIMS-Analyse und Rastersondenmikroskopie auf der M6 Plus-Plattform.
Orbitrap SIMS
Für organische SIMS-Anwendungen auf dem M6 Hybrid SIMS Kombinationsinstrument.
Dual-Beam-Tiefenprofilierung
Sputtern und Analyse mit getrennten Ionenstrahlen für Tiefenprofile und 3D-Analyse.
Standorte

Münster
DEHauptsitz mit Entwicklung, Fertigung und Montage der Instrumente
- Werkstoffe
- Metalle, Halbleiter, Polymere, Glas, Keramik, Biomaterialien, Pharmazeutika, Farben und Beschichtungen, Papier
- M6
- M6 Plus
- M6 Hybrid SIMS
- Qtac
- Nanoprobe 50 (Bismut-Cluster-Ionenquelle)
- SurfaceLab 7
Einblicke in die Fertigung





Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| TOF-SIMS (Time-of-Flight Sekundärionen-Massenspektrometrie) - Oberflächenanalyse,Prüfung | – | – | – | – | Metalle, Halbleiter, Polymere, Glas, Keramik, Biomaterialien, Pharmazeutika, Papier, Farben und Beschichtungen, organisches Gewebe |
| LEIS (Low Energy Ion Scattering) - quantitative Charakterisierung der obersten AtomlagePrüfung | – | – | – | – | Katalysatoren, Metalle |
| TOF MS/MS mit CID-Fragmentierung zur MolekülstrukturaufklärungPrüfung | – | – | – | – | Polymere, organische Proben |
| Dual Beam TiefenprofilierungPrüfung | – | – | – | – | – |
| In-situ SPM (Scanning Probe Microscopy) kombiniert mit SIMSPrüfung | – | – | – | – | – |
| Orbitrap SIMS für organische SIMS-AnwendungenPrüfung | – | – | – | – | organische Materialien |
| Probenerwärmung und -kühlung während der Analyse (closed-loop)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Analytischer Service (Oberflächenanalyse, in Kooperation mit Tascon; auch XPS und optischePrüfung | – | – | – | – | Metalle, Halbleiter, Polymere, Glas, Biomaterialien, Pharmazeutika, Katalysatoren |
5 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| TOF-SIMS Instrument (High-End) | IONTOF M6 | – | – | – | Münster, Deutschland |
| TOF-SIMS + In-situ SPM Plattform | IONTOF M6 Plus | – | – | – | Münster, Deutschland |
| TOF-SIMS/Orbitrap Kombinationsinstrument | IONTOF M6 Hybrid SIMS | – | – | – | Münster, Deutschland |
| LEIS Instrument (Low Energy Ion Scattering) | IONTOF Qtac | – | – | – | Münster, Deutschland |
| Bismut-Cluster-Ionenquelle (bis 40 pA gepulst, laterale Auflösung < 50 nm, bis 50 kHz) | IONTOF Nanoprobe 50 | – | – | – | Münster, Deutschland |
Zusatzleistungen
Qualität
IONTOF betreibt selbst TOF-SIMS- und LEIS-Instrumente in enger Kooperation mit dem Prüflabor Tascon; analytische Dienstleistungen umfassen XPS und optische Charakterisierung der Oberflächentopographie.
| Nachweis | Münster |
|---|---|
| Analytischer Service (TOF-SIMS, LEIS, XPS) | |
| ISO 9001 |
Historie
- 1989
Gründung durch Prof. Alfred Benninghoven, Dr. Ewald Niehuis und Thomas Heller zur Kommerzialisierung der TOF-SIMS-Forschung der Universität Münster
- 1997
Gründung der Schwesterfirma Tascon als spezialisiertes TOF-SIMS-Prüflabor