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Hersteller und Distributor von Vakuumkomponenten, Vakuumkammern und Dünnschicht-Beschichtungssystemen (PVD/ALD)
Kurt J. Lesker Company GmbH
Jefferson Hills, PA (US) · Dresden (DE) · St. Leonards-on-Sea (UK) · Shanghai (CN)Neu auf Amplifa
Über Kurt J. Lesker Company
Die Kurt J. Lesker Company (KJLC), 1954 gegründet, ist ein international tätiger Hersteller und Distributor von Vakuumprodukten und Dünnschicht-Abscheidungssystemen mit über 400 Mitarbeitenden und sechs Distributionszentren weltweit. Die Manufacturing Division fertigt kundenspezifische Vakuumkammern aus Edelstahl (Chamber Builder, Nipple Builder, Hydra~Cool Wasserkühlung). Die Process Equipment Division entwickelt und baut PVD- und ALD-Anlagen – von kompakten Labor-Tools (NANO 36, PRO Line) über Glovebox-Systeme (SPECTROS) und UHV-Sputtersysteme (LAB Line) bis zu Cluster-Systemen mit robotischem Probentransfer (OCTOS) und Produktionsanlagen (BATCH, KDF In-Line). Die Materials Division liefert Sputter-Targets und Evaporationsmaterialien mit in-house Target-Bonding (Indium/Elastomer) und Edelmetall-Recycling. Weitere Leistungen sind Pumpen-Reparatur, TORUS-Kathoden-Rebuild und Trainingssysteme. Referenzkunde ist u. a. European XFEL. Die deutsche Tochtergesellschaft sitzt in Dresden.
- Standort
- Dresden
- Verfahren
- Magnetron Sputtering (TORUS Kathoden, reaktives Sputtern, HiPIMS), Electron Beam Evaporation, Thermal Evaporation, Organic (Point Source) Evaporation, Atomic Layer Deposition (ALD), thermisch und Plasma-enhanced (PEALD), Pulsed Filtered Cathodic Arc Deposition, PECVD & DLC Coating Systems (KDF), CVD (Prozessmodul im OCTOS Cluster)
- Werkstoffe
- Gold, Platinum, Palladium, Silver, Iridium, Rhodium, Ruthenium, Rhenium
- Zertifikate
- ISO 9001:2015, ISO 14001:2015
- Gegründet
- 1954
- Mitarbeiter
- 400+
- Branchen
- Halbleiter, OLED/Flat Panel Display, Photovoltaik, Optik, Medizintechnik, Quantentechnologie/Supraleiter
- 01
Engineering & Design (Dünnschichtsysteme, Vakuumkammern)
- 02
Fertigung Vakuumkammern & Komponenten (Edelstahl)
- 03
Systemmontage & Integration (Cluster, Glovebox, TVAC)
- 04
Target-Bonding & Materialaufbereitung
- 05
Service: Pumpen-Reparatur, Kathoden-Rebuild, Dekontamination
- 06
Training & Support (Lesker U, System Service)
Werkstoffe & Verfahren
Edelstahl
Werkstoff für Vakuumkammern, Prozessgasleitungen und Trainingssysteme (z. B. zylindrische Kammer mit ISO 320-Flanschen).
Edelmetalle (Gold, Platin, Palladium, Silber, Iridium, Rhodium, Ruthenium)
Sputter-Targets, Evaporationsmaterialien und Reclaim-Programm für Edelmetall-Recycling.
Indium / Elastomer
Bonding-Materialien für Target-Bonding mit Backing Plates.
AlScN (ferroelektrisches Nitrid)
Abscheidung per Plasma-enhanced ALD unter Ultrahochrein-Bedingungen.
Reine Metalle, Legierungen, Oxide, Fluoride, Nitride
Sputter-Targets und Evaporationsmaterialien in verschiedenen Formen, Größen und Reinheiten.
Standorte
Jefferson Hills, PA
USHauptsitz, Vertrieb & Fertigung
- Werkstoffe
- Edelstahl
- NANO 36 PVD
- PRO Line PVD 75/200/500
- AXXIS GLAD
- SPECTROS
- OCTOS Cluster
- LAB Line UHV
- CMS Series
- BATCH Coater
- ALD150LE/150LX
- TORUS Kathoden (Service bis 4 m)
Dresden
DEVertriebsbüro Deutschland (EMEIA)
St. Leonards-on-Sea
GBVertriebsbüro UK
Shanghai
CNVertriebsbüro China
Bauteile & Systeme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Magnetron Sputtering (TORUS Kathoden, reaktives Sputtern, HiPIMS)Oberfläche | – | – | – | – | Sputtering Targets: Reine Metalle, Legierungen, Oxide, |
| Electron Beam EvaporationOberfläche | – | – | – | – | Evaporation Materials: Reine Metalle, Legierungen, Oxide, |
| Thermal EvaporationOberfläche | – | – | – | – | Evaporation Materials |
| Organic (Point Source) EvaporationOberfläche | – | – | – | – | Organische Materialien |
| Atomic Layer Deposition (ALD), thermisch und Plasma-enhanced (PEALD)Oberfläche | – | – | – | – | AlScN (ferroelektrisches Nitrid), Ultra High Purity Prozesse |
| Pulsed Filtered Cathodic Arc DepositionOberfläche | – | – | – | – | – |
| PECVD & DLC Coating Systems (KDF)Oberfläche | – | – | – | – | DLC, funktionale Verschleißbeschichtungen |
| CVD (Prozessmodul im OCTOS Cluster)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| PLD (Prozessmodul im OCTOS Cluster)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Glancing Angle Deposition (AXXIS)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Roll-to-Roll Thin Film Deposition für flexible SubstrateOberfläche | – | – | – | – | Flexible Substrate |
| Vakuumkammer-Fertigung (Vacuum Chambers, Chamber Builder, Nipple Builder)Montage | – | – | – | – | Edelstahl (Chamber-Training-System: zylindrische |
| Target Bonding (Indium- und Elastomer-Bonding, Backing Plates)Montage | – | – | – | – | Indium, Elastomer |
| Precious Metals Reclaim Services (Rückgewinnung Edelmetalle)Oberfläche | – | – | – | – | Gold, Platinum, Palladium, Silver, Iridium, Rhodium, |
| Vakuumpumpen-Reparatur und Remanufacturing (Rotary Vane, Rotary Piston, Scroll, Roots Blower,Montage | – | – | – | – | – |
| Magnetron-Kathoden-Rebuild, Repair & Retrofit (rund und linear, bis 4 m lange Magnetrons)Montage | – | 4 m | – | – | – |
| Pump Decontamination (HAZMAT-zertifiziert)Montage | – | – | – | – | – |
| Systems Service & Support für Dünnschicht-AnlagenMontage | – | – | – | – | – |
| Engineering/Design von Dünnschicht-Abscheidungssystemen inkl. Cluster-Tools mit robotischem TransferEngineering | – | – | – | – | – |
| Thermal Vacuum Chamber (TVAC)/Space Simulation Systeme (Sonderanfertigung)Engineering | – | – | – | – | – |
17 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| PVD-Beschichtungssystem (kompakter, rechnergesteuerter PVD-Tool) | Kurt J. Lesker Company NANO 36 | – | – | – | – |
| PVD-Beschichtungssysteme (R&D, Pilotproduktion, Produktion) | Kurt J. Lesker Company PRO Line PVD Series (PVD 75, PVD 200, PVD 500) | – | – | – | – |
| Glancing Angle Deposition System | Kurt J. Lesker Company AXXIS | – | – | – | – |
| Glovebox-integrierte Sputter-/E-Beam-/Thermal-/Organic-Evaporationssysteme | Kurt J. Lesker Company SPECTROS | – | – | – | – |
| Cluster-Beschichtungssystem mit robotischem Sampletransfer (bis 10 Prozessmodule: PVD, ALD, | Kurt J. Lesker Company OCTOS | – | – | – | – |
| UHV-Sputtersystem (bis 15 Kathoden, E-Beam und Thermal Optionen) | Kurt J. Lesker Company LAB Line | – | – | – | – |
| Combinatorial Materials Science Tool (E-Beam/Sputtering) | Kurt J. Lesker Company CMS Series | – | – | – | – |
| Batch Coater (linear und Multi-Substrat-Dome) | Kurt J. Lesker Company BATCH Coaters | – | – | – | – |
| In-Line Beschichtungssysteme | KDF KDF In-Line Solutions | – | – | – | – |
| PECVD & DLC Coating System | KDF KDF PECVD & DLC Coating Systems | – | – | – | – |
| PVD-Beschichtungssysteme | VaporTech (Support durch KDF) VaporTech Coating Systems | – | – | – | – |
| Atomic Layer Deposition System (thermal) | Kurt J. Lesker Company ALD150LE | – | – | – | – |
| Atomic Layer Deposition System (thermal oder plasma-enhanced, load locked) | Kurt J. Lesker Company ALD150LX | – | – | – | – |
| Roll-to-Roll Dünnschicht-Beschichtungsmodul | Kurt J. Lesker Company PRO Line Roll-to-Roll Module | – | – | – | – |
| Magnetron Sputtering Cathode (TORUS), rund und linear, Service bis 4 m Länge | Kurt J. Lesker Company TORUS | – | – | – | – |
| Rotary Vane Vacuum Pump | Kurt J. Lesker Company KJLC-RV206 | – | – | – | – |
| Turbomolekularpumpe (84 l/s, Trainingssystem) | Kurt J. Lesker Company | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
Die Fertigung und der Service erfolgen unter ISO 9001:2015 und ISO 14001:2015 Management-Systemen; Reparaturen an Pumpen und Magnetron-Kathoden erhalten eine zertifizierte 12-Monats-Garantie. Jedes Sputter-Target und Evaporationsmaterial wird mit Certificate of Analysis und SDS geliefert; in-house Vakuum-/Lecktest und Magnet-Mapping für Kathoden.
| Nachweis | Jefferson Hills, PA | Dresden |
|---|---|---|
| ISO 9001:2015 | ||
| ISO 14001:2015 |
Historie
- 1954
Gründung der Kurt J. Lesker Company; über 65 Jahre Erfahrung in der Vakuumindustrie
- 2021
Dokumentation des QAF-206 RMA-Prozesses (V5.0)
- 2026
HI-TEC Industry Recognition Award (nominiert von Penn State CNEU) für das Trainingssystem TRAIN001