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Kundenspezifische PVD-Beschichtungen mit Magnetronsputtern, NEG-Coating, Sputterquellen und Schichtanalyse
MagTec GmbH
EllerstadtNeu auf Amplifa
Über MagTec
Die MagTec GmbH ist ein Hochtechnologie-Unternehmen mit Sitz in Ellerstadt in der Pfalz, das sich auf kundenspezifische PVD-Beschichtungen mit Magnetron-Sputtertechnologie spezialisiert hat. Das Unternehmen verfügt über mehr als 15 Jahre Erfahrung und beschichtet metallische Oberflächen, Gläser, Kunststoffe wie Polycarbonat, Polyimid (Kapton), PMMA und PE sowie Halbleiter-Wafer mittels DC-, RF- und reaktivem Magnetronsputtern. Die Produktion erfolgt unter Reinraumbedingungen (ISO 5) auf rund 150 m² Fläche mit vier PVD-Anlagen: zwei Inline-Anlagen für Substrate bis 400 x 1300 mm, eine Batchanlage für 3D-Geometrien bis 400 x 300 x 300 mm und eine Anlage zur Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m Länge. Ergänzend fertigt das Unternehmen auf 100 m² Werkstattfläche per Fräsen, Drehen und Elektroerosion Bauteile, Masken und Prototypen sowie kundenspezifische Magnetron-Sputterquellen. Anwendungsfelder sind Optik, Halbleiterindustrie, Weltraum- und Vakuumtechnik sowie Neutronenphysik; zu den Kunden zählen Forschungseinrichtungen wie ILL, PSI, Los Alamos National Laboratory, FRM II und TRIGA Mainz.
- Standort
- Ellerstadt
- Verfahren
- PVD-Beschichtung (Magnetronsputtern), DC-Magnetronsputtern, RF-Magnetronsputtern, Reaktives Magnetronsputtern, Inline-PVD-Beschichtung von Substraten bis 400 mm x 1300 mm, Batch-Beschichtung von 3D-Geometrien bis 400 mm x 300 mm x 300 mm, Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m Länge, NEG-Beschichtung (non-evaporable getter) von Rohren und Bauteilen für UHV-Anwendungen
- Werkstoffe
- Polycarbonat, Polyimid (Kapton), Plexiglas (PMMA), PE (Polyethylen), Glas, Metallfolien, Halbleiter-Wafer, Metalle (verschiedene Beschichtungsmaterialien, nahezu gesamtes Periodensystem verfügbar)
- Zertifikate
- Reinraum ISO 5 (Produktion), Produktionsbegleitende Qualitätskontrolle (XRF, XRD, XRR, GID, UV/ViS), ISO 9001
- Branchen
- Optik, Halbleiterindustrie, Weltraum- und Vakuumtechnik, Neutronenphysik/Forschung
- 01
Konstruktion und Magnetfeldsimulation (MC)
- 02
Masken- und Bauteilfertigung (Werkstatt)
- 03
PVD-Beschichtung (Magnetronsputtern)
- 04
Schichtanalyse (XRF, XRD, XRR, GID, UV/ViS)
Standort
Ellerstadt
DEHauptsitz, Produktion, Werkstatt und Labor
- Stückgewicht / Größe
- Substrate bis 400 x 1300 mm; Rohre bis 120 mm Durchmesser,
- Werkstoffe
- Metalle, Glas, Metallfolien, Kunststoffe (PC, PI, PMMA, PE), Halbleiter-Wafer
- 2 PVD Inline-Beschichtungssysteme (bis 400 x 1300 mm)
- PVD Batch-Beschichtungsanlage für 3D-Geometrien (bis 400 x 300 x 300 mm)
- PVD-Anlage für Innenbeschichtung von Rohren (bis 120 mm Ø, 1,6 m)
- Reinraum ISO 5
- Fräsmaschine
- Drehmaschine
- Elektroerosionsmaschine
- Bruker D8 ADVANCE ECO (XRD/XRR/GID)
- Bruker AXS S4 Pioneer (XRF)
- Perkin Elmer Lambda 950 UV/ViS-Spektrometer (175–3300 nm)
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| PVD-Beschichtung (Magnetronsputtern)Oberfläche | – | 1300 mm × 400 mm | – | – | Metalle, Gläser, Kunststoffe (Polycarbonat, Polyimid/Kapton, PMMA, PE), Halbleiter-Wafer |
| DC-MagnetronsputternOberfläche | – | – | – | – | Metalle, Glas, Metallfolien, Halbleiter-Wafer |
| RF-MagnetronsputternOberfläche | – | – | – | – | Metalle, Glas, Metallfolien, Halbleiter-Wafer |
| Reaktives MagnetronsputternOberfläche | – | – | – | – | Metalle, Glas, Metallfolien, Halbleiter-Wafer |
| Inline-PVD-Beschichtung von Substraten bis 400 mm x 1300 mmOberfläche | – | 1300 mm × 400 mm | – | – | Metalle, Gläser, Kunststoffe, Halbleiter-Wafer |
| Batch-Beschichtung von 3D-Geometrien bis 400 mm x 300 mm x 300 mmOberfläche | – | 300 mm × 400 mm × 300 mm | – | – | Metalle, Gläser, Kunststoffe, Halbleiter-Wafer |
| Innenbeschichtung von Rohren bis 120 mm Durchmesser und 1,6 m LängeOberfläche | – | 1,6 m | – | – | Metalle, Gläser |
| NEG-Beschichtung (non-evaporable getter) von Rohren und Bauteilen für UHV-AnwendungenOberfläche | – | – | – | – | Metalle, Gläser |
| Fertigung von Neutronenleitern (rechteckig bis 300 x 300 mm, 1200 mm Länge; rohrförmig 52–120 mmMontage | – | 1600 mm × 300 mm × 300 mm | – | – | Metalle, Glas |
| Fertigung von Choppers für Ultra-Kalt-NeutronenMontage | – | – | – | – | Metalle |
| Fertigung von Soller-KollimatorenMontage | – | – | – | – | Metalle |
| Design und Fertigung kundenspezifischer Magnetron-SputterquellenEngineering | – | – | – | – | – |
| Magnetfeldsimulation (MC-Simulation)Engineering | – | – | – | – | – |
| FräsenZerspanung | – | – | – | – | Metalle |
| DrehenZerspanung | – | – | – | – | Metalle |
| ElektroerosionZerspanung | – | – | – | – | Metalle |
| Bauteil- und Maskenfertigung sowie PrototypenbauEngineering | – | – | – | – | Metalle |
| XRF-Elementanalyse (Analyse-Dienstleistung)Prüfung | – | – | – | – | – |
| XRR-, XRD-, GID-Analyse von Schichten (Rauheit, Dicke, Dichte, Struktur)Prüfung | – | – | – | – | – |
| UV/ViS-Transmissions- und Reflektivitätsmessungen (175–3300 nm)Prüfung | – | – | – | – | – |
9 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| PVD Inline Beschichtungssystem | – | 2 | Substrate bis 400 mm x 1300 mm | – | Ellerstadt |
| PVD Batch-Beschichtungsanlage für 3D-Geometrien | – | 1 | bis 400 mm x 300 mm x 300 mm | – | Ellerstadt |
| PVD Beschichtungsanlage für Innenbeschichtung von Rohren | – | 1 | Rohre bis 120 mm Durchmesser, 1,6 m Länge | – | Ellerstadt |
| Fräsmaschine | – | – | – | – | Ellerstadt (Werkstatt) |
| Drehmaschine | – | – | – | – | Ellerstadt (Werkstatt) |
| Elektroerosionsmaschine | – | – | – | – | Ellerstadt (Werkstatt) |
| Röntgendiffraktometer (XRD/XRR/GID) | Bruker D8 ADVANCE ECO | 1 | – | – | Ellerstadt (Labor) |
| Röntgenspektrometer (XRF) | Bruker AXS S4 Pioneer | 1 | – | – | Ellerstadt (Labor) |
| UV/ViS-Spektrometer | Perkin Elmer Lambda 950 | 1 | 175–3300 nm | – | Ellerstadt (Labor) |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität und Analyse
Die Schichtqualität wird produktionsbegleitend im hauseigenen Labor geprüft: Rauheit, Dicke, Dichte und Struktur via XRD, XRR und GID (Bruker D8 ADVANCE ECO), Elementanalysen via XRF (Bruker AXS S4 Pioneer) sowie Transmission und Reflektivität im Bereich 175–3300 nm (Perkin Elmer Lambda 950). Diese Messdienste stehen auch für externe Proben zur Verfügung.
| Nachweis | Ellerstadt |
|---|---|
| Reinraum ISO 5 (Produktion) | |
| Produktionsbegleitende Qualitätskontrolle (XRF, XRD, XRR, GID, UV/ViS) | |
| ISO 9001 |
Unternehmenshistorie
Gründung des Unternehmens; mehr als 15 Jahre Erfahrung in kundenspezifischen PVD-Beschichtungen
- 2018
Europäische Patentanmeldung 17 728 516.0 zur NEG-Beschichtung (Anmelder: Pfeiffer Vacuum Components & Solutions GmbH und Movatec GmbH; Erfinder: Dr. A. Kraft und Dr. T. Lauer)