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Entwicklung und Fertigung kompakter Excimerlaser (193/248/308 nm) für Medizintechnik, Halbleiter und Photonik.
MLase GmbH
Germering (Hauptsitz, Entwicklung & Produktion)Neu auf Amplifa
Über MLase
Die MLase GmbH entwickelt und fertigt seit Dezember 2007 am Standort Germering bei München kompakte Excimerlaserquellen für 193 nm (ArF), 248 nm (KrF) und 308 nm (XeCl). Die Systeme der MLI-Serie zeichnen sich durch Pulsenergien bis 16 mJ, Wiederholraten bis 1000 Hz, Pulsstabilität unter 2 % und flexible Luft- oder Wasserkühlung aus und sind für die Integration in OEM-Systeme und Produktionsumgebungen ausgelegt. MLase bietet Standardkonfigurationen, OEM-Integration von Excimerlaser-Subsystemen sowie Co-Development kompletter laserbasierter Medizinprodukte einschließlich Systemarchitektur, Strahlführung und Fertigung. Daneben umfasst das Portfolio Peripherie-Komponenten, Gasversorgungssysteme und die Auftragsfertigung aktiver therapeutischer Medizinprodukte. Als Medizinproduktehersteller arbeitet das Unternehmen mit einem nach ISO 13485/EN ISO 13485 zertifizierten Qualitätsmanagementsystem und ist seit 2025 nach der Europäischen Medizinprodukteverordnung (MDR) zertifiziert. Kunden stammen aus Medizintechnik (LASIK, Glaukom, Laser-Atherektomie), Halbleiter- und Mikroelektronik, Photonik, analytischer Instrumentierung und Mikromaterialbearbeitung.
- Standort
- Germering
- Verfahren
- UV-Mikrobearbeitung, Strukturierung und Mikrobohren (Excimerlaser), Feinabisolierung von Drähten mittels UV-Laserablation (Wire Stripping), Präzise UV-Laserreinigung empfindlicher Oberflächen (Contamination Removal), Hochauflösende UV-Lasermarkierung / Gravur auf Glas und optischen Komponenten, Herstellung mikrofluidischer Systeme und Lab-on-a-Chip-Komponenten (Mikrokanäle, Via-Bohrungen), Fiber Bragg Grating (FBG) Writing, UV-Laser-Fertigung optischer Wellenleiter, Laser Debonding / Laser Lift-Off (Interfacial Layer Separation)
- Werkstoffe
- Metalle, Keramik, Glas, Halbleiter, Polyimid (PI), PTFE, ETFE, PFA
- Zertifikate
- EN ISO 13485, MDR-Zertifizierung
- Gegründet
- 2007-12
- Mitarbeiter
- 50
- Branchen
- Medizintechnik (Laserchirurgie, LASIK, Glaukombehandlung, Laser-Atherektomie), Halbleiter & Mikroelektronik, Optik, Photonik & Telekommunikation, Analytische & wissenschaftliche Instrumente, Mikromaterialbearbeitung, Medizintechnik (Laserchirurgie, Refraktive Chirurgie/LASIK, Glaukombehandlung,
- 01
Forschung & Entwicklung
- 02
Konstruktion der Excimerlaserquellen
- 03
Montage und Fertigung der Lasersysteme
- 04
Qualitätsprüfung gemäß ISO 13485
- 05
OEM-Integration bzw. Auftragsfertigung von Medizinprodukten
- 06
Service und Support
Wellenlängen & Anwendungsprozesse
Excimerlaser 193 nm (ArF)
Für LASIK in der Refraktiven Chirurgie, DUV-Inspektion, FBG Writing sowie photochemische Mikroablation mit minimalem Wärmeeintrag.
Excimerlaser 248 nm (KrF)
Für Mikromaterialbearbeitung, UV-Markierung, Reinigung empfindlicher Oberflächen und FBG-Inscription.
Excimerlaser 248 nm FBG-Variante
Speziell konfigurierte Variante der MLI-Serie für das Schreiben von Faser-Bragg-Gittern.
Excimerlaser 308 nm (XeCl)
Sealed-off-Laser mit über 200 mJ Pulsenergie für Laser-Atherektomie und Glaukombehandlung.
Technische Polymere (Polyimid, PTFE, ETFE, PFA, Polyurethan, Lack, Photoresists)
Bearbeitete Werkstoffe für selektive UV-Ablation, Feinabisolierung und Mikrostrukturierung.
Glas, Quarzglas, Fused Silica, Saphir, Diamant
Bearbeitete Werkstoffe für Mikrobohrungen, UV-Markierung und photonische Strukturierung.
Metalle, Keramik, Halbleiter, dielektrische Schichten, CFRP
Bearbeitete Werkstoffe für Abtrag, Dünnschichtentfernung und Laserreinigung.
Standorte
Germering
DEHauptsitz, Entwicklung & Produktion
- MLI-ArF-Serie (193 nm, 200/500/1000 Hz, Luft-/Wasserkühlung, SP/HP)
- MLI-KrF-Serie (248 nm inkl. KrFFBG-Variante)
- XeCl-Excimerlaser 308 nm (>200 mJ, sealed-off)
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| UV-Mikrobearbeitung, Strukturierung und Mikrobohren (Excimerlaser)Zerspanung | – | – | – | – | Polymere, Glas, Keramik, Metalle, Halbleiter, Dünnschichten |
| Feinabisolierung von Drähten mittels UV-Laserablation (Wire Stripping)Oberfläche | – | – | – | – | Polyimid, ETFE, PTFE, PFA, Polyurethan, Lack |
| Präzise UV-Laserreinigung empfindlicher Oberflächen (Contamination Removal)Oberfläche | – | – | – | – | Optische Komponenten, CFRP/CFK, Metallbauteile |
| Hochauflösende UV-Lasermarkierung / Gravur auf Glas und optischen KomponentenOberfläche | – | – | – | – | Glas, Polymere, beschichtete Bauteile |
| Herstellung mikrofluidischer Systeme und Lab-on-a-Chip-Komponenten (Mikrokanäle, Via-Bohrungen)Zerspanung | – | – | – | – | Polymere |
| Fiber Bragg Grating (FBG) WritingEngineering | – | – | – | – | Photosensitive Quarzglasfasern (Ge-dotiert), Gallium-dotierte Fasern |
| UV-Laser-Fertigung optischer WellenleiterEngineering | – | – | – | – | Polymere, Glas, Fused Silica |
| Laser Debonding / Laser Lift-Off (Interfacial Layer Separation)Oberfläche | – | – | – | – | Klebstoffe, Bonding-Polymere, Verbundwerkstoffe, Medizinische Kunststoffe |
| DUV Photomask and Reticle Inspection / Aerial ImagingPrüfung | – | – | – | – | Photomasken, Reticles, Pellicles |
| Laserablation für ICP-MS (LA-ICP-MS), TOF-MS und LIBSPrüfung | – | – | – | – | – |
| Medizinische Laseranwendungen: LASIK (193 nm), Glaukom-Behandlung, Laser-Atherektomie (308 nm)Engineering | – | – | – | – | menschliches Gewebe (Hornhaut), Gefäßmaterial (Faserapplikator) |
| Auftragsfertigung aktiver therapeutischer Medizinprodukte (Contract Manufacturing)Montage | – | – | – | – | – |
| R&D-Lithographie und Prozessentwicklung; Laserstrukturierung und Scribing; Pulsed Laser DepositionEngineering | – | – | – | – | Wafer, Keramik, Metall, Kunststoff |
6 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Industrieller Excimerlaser 193 nm (ArF), 200 Hz, Standard Power, luftgekühlt | MLase MLI-ArF-200-SP-AC | – | Strahlquerschnitt 6x3 mm; Maße 560 x 315 x 445 mm; 75 kg | – | Germering |
| Industrieller Excimerlaser 193 nm (ArF), 200 Hz, High Power, luftgekühlt | MLase MLI-ArF-200-HP-AC | – | Strahlquerschnitt 6x3 mm; Maße 560 x 315 x 445 mm; 75 kg | – | Germering |
| Industrieller Excimerlaser 193 nm (ArF), 200/500/1000 Hz, wassergekühlt (SP/HP Varianten) | MLase MLI-ArF-*-LC | – | Strahlquerschnitt 6x3 mm; Maße 560 x 355 x 445 mm; 75 kg | – | Germering |
| Industrieller Excimerlaser 193 nm (ArF), 500/1000 Hz, luftgekühlt (SP/HP Varianten) | MLase MLI-ArF-*-AC | – | Strahlquerschnitt 6x3 mm; Maße 560 x 315 x 445 mm; 75 kg | – | Germering |
| Industrieller Excimerlaser 248 nm (KrF) inkl. KrF-FBG-Variante | MLase MLI-KrF-Serie (MLI-KrF, MLI-KrFFBG) | – | Pulsenergien bis 16 mJ, Wiederholraten bis 1000 Hz | – | Germering |
| XeCl-Excimerlaser 308 nm für Laser-Atherektomie/Glaukom (>200 mJ, sealed-off) | MLase | – | – | – | Germering |
Zusatzleistungen
Qualität
MLase betreibt ein nach EN ISO 13485 (Registrier-Nr. SX 2551152-1, gültig bis 19.11.2028) zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem, das Entwicklung, Herstellung, Vertrieb, Service und Auftragsfertigung aktiver therapeutischer Medizinprodukte umfasst. Seit Februar 2025 ist das Unternehmen zudem nach der Europäischen Medizinprodukteverordnung (MDR) zertifiziert.
| Nachweis | Germering |
|---|---|
| EN ISO 13485 | |
| MDR-Zertifizierung |
Historie
- 2007
Gründung von MLase in Germering mit einem Startteam von 10 Mitarbeitern.
- 2008
Erstzertifizierung des Qualitätsmanagementsystems nach ISO 13485.
- 2010
Produktion von 100 Lasern innerhalb eines Jahres.
- 2015
Steigerung des Produktionsvolumens auf 250 Laser pro Jahr.
- 2020
Das Team wächst auf 50 Mitarbeitende.
- 2023
Maxburg Capital Partners erwirbt eine Mehrheitsbeteiligung an MLase.
- 2025
Übergabe der Geschäftsführung von Markus Enders und Johannes Junger an Dirk Mühlhoff; MDR-Zertifizierung im Februar.