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Entwickelt und fertigt in Reinräumen Rasterkraftsonden (AFM-Sonden) für die Nanotechnologie.
NanoWorld AG
Neuchâtel (CH)Neu auf Amplifa
Über NanoWorld
Die NanoWorld AG mit Sitz in Neuchâtel, Schweiz, ist auf Entwicklung und Herstellung von Sonden für die Rasterkraftmikroskopie (AFM/SPM) spezialisiert. Das 2000 von Manfred Detterbeck gegründete Unternehmen produziert in eigenen Reinräumen Silizium-Sonden monolithischen Designs, Siliziumnitrid-Sonden mit Pyrex-Glas-Chips sowie Ultrakurz-Cantilever für High-Speed-AFM. Ergänzt wird das Portfolio durch Beschichtungen wie Aluminium-Reflex-, Gold-, PtIr5-, Diamant- und magnetische Schichten. Neben Standardprodukten wie der Pointprobe-Serie bietet die Firma kundenspezifische Sonderentwicklungen an, unter anderem eine dedizierte Sonde für Zeiss-Veritekt-Mikroskope. Abnehmer sind Forschungseinrichtungen und Unternehmen aus Nanotechnologie, Materialwissenschaft, Halbleiterfertigung, Biowissenschaften und Physik. Der Standort liegt nahe Microcity (EPFL) und CSEM.
- Standort
- Neuchâtel
- Verfahren
- Herstellung von AFM/SPM-Rasterkraftsonden (Silizium-Sonden, monolithischer Design), Herstellung von Sonden für Contact Mode AFM (Pointprobe® CONT, CONTSC, Arrow™ CONT), Herstellung von Sonden für Non-Contact/Tapping Mode AFM, Herstellung von Ultra-Short Cantilevers für High-Speed AFM (USC, Resonanz 1.2-5 MHz), Herstellung von Pyrex-Nitride Sonden (Siliziumnitrid-Cantilever und -Spitzen), Aluminium-Reflexbeschichtung (30 nm Al auf Detektorseite des Cantilevers), Goldbeschichtung (70 nm Cr/Au, ein- oder beidseitig, auf Anfrage), PtIr5-Beschichtung (25 nm beidseitig, leitfähig)
- Werkstoffe
- Silizium (hochdotierter Einkristall), Siliziumnitrid (SiN), Pyrex-Nitrid (Pyrex-Glas-Chip mit Siliziumnitrid), Aluminium (Reflexbeschichtung, 30 nm), Gold (Beschichtung, 70 nm), Chrom/Gold (Beschichtung), Platin-Iridium-Legierung (PtIr5), Diamant (polykristallin, Beschichtung)
- Zertifikate
- Datenblätter mit garantierten Werten
- Gegründet
- 2000
- Branchen
- Nanotechnologie, Materialwissenschaft, Halbleiterindustrie, Biowissenschaften/Life Science, Physik, Biologie
- 01
F&E und Sonderentwicklung
- 02
Reinraumproduktion (Mikrostrukturierung von Silizium-Wafern)
- 03
Beschichtung (Reflex, Gold, PtIr5, Diamant, magnetisch)
- 04
Qualitätsprüfung
- 05
Verpackung (Packungen zu 10/20/50 oder Wafer)
- 06
Weltweiter Versand
Werkstoffe und Verfahren
Hochdotierter Siliziumeinkristall (0,01–0,025 Ohm·cm)
Monolithisches Material für Cantilever, Spitze und Haltechip; chemisch inert, geeignet für Flüssigkeiten und elektrochemische Zellen.
Siliziumnitrid (SiN)
Cantilever und oxidgeschärfte pyramidale Spitzen der Pyrex-Nitride-Sonden.
Pyrex-Glas (Haltechip)
Chipmaterial der Pyrex-Nitride-Sonden für Kontakt- und Dynamikmodus.
Aluminium-Reflexbeschichtung
30-nm-Schicht auf der Detektorseite, erhöht die Laserreflexion um Faktor 2,5.
Chrom/Gold-Beschichtung (70 nm)
Reflex- und leitfähige Beschichtung auf einer oder beiden Seiten, auf Anfrage.
Platin-Iridium-Legierung (PtIr5, 25 nm)
Beidseitige leitfähige Beschichtung für elektrische Messverfahren.
Polykristalliner Diamant (ca. 100 nm) bzw. HDC/DLC
Verschleißfeste Spitzenbeschichtung für harten Kontakt, Nanostrukturierung und FMM.
Kobaltlegierung / weichmagnetische Schicht
Magnetische Beschichtungen für MFM-Anwendungen (Koerzitivität weichmagnetisch ca. 0,75 Oe).
Quarzähnliches Material
Cantilever der Ultra-Short-Cantilever-Serie mit Resonanzfrequenzen von 1,2 bis 5 MHz.
Standorte
Neuchâtel
CHHauptsitz, F&E und Reinraumproduktion
- Stückgewicht / Größe
- Haltechip 3,4 × 1,6 × 0,3 mm; Cantilever 10–450 µm
- Losgröße
- Packungen zu 10, 20, 50; Wafer mit 380–388 Sonden
- Werkstoffe
- Silizium, Siliziumnitrid, Pyrex, Beschichtungsmetalle
- Reinraum (Cleanroom)
Produkte
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Herstellung von AFM/SPM-Rasterkraftsonden (Silizium-Sonden, monolithischer Design)Engineering | – | – | – | Wafer mit 380-388 Sonden | Silizium (hochdotierter Einkristall), Siliziumnitrid, Pyrex-Nitrid |
| Herstellung von Sonden für Contact Mode AFM (Pointprobe® CONT, CONTSC, Arrow™ CONT)Engineering | Cantileverlänge 445-455 µm bzw. 220-230 µm · Tip-Radius typ. < 8 nm (Pointprobe), < | 450 µm × 50 µm × 2 µm (Cantileverdicke) | – | 10 Stück – 380 Stück (Wafer) | Silizium |
| Herstellung von Sonden für Non-Contact/Tapping Mode AFMEngineering | – | – | – | – | Silizium |
| Herstellung von Ultra-Short Cantilevers für High-Speed AFM (USC, Resonanz 1.2-5 MHz)Engineering | Tip-Radius typ. < 10 nm | 10 µm | – | – | Quarzähnliches Material, High Density Carbon/Diamond Like Carbon (HDC/DLC), Silizium (Support-Chip) |
| Herstellung von Pyrex-Nitride Sonden (Siliziumnitrid-Cantilever und -Spitzen)Engineering | Tip-Radius typ. < 10 nm | 100 µm | – | – | Siliziumnitrid (SiN), Pyrex-Glas |
| Aluminium-Reflexbeschichtung (30 nm Al auf Detektorseite des Cantilevers)Oberfläche | 30 nm Schichtdicke | – | – | – | Aluminium |
| Goldbeschichtung (70 nm Cr/Au, ein- oder beidseitig, auf Anfrage)Oberfläche | 70 nm Schichtdicke | – | – | – | Gold, Chrom/Gold |
| PtIr5-Beschichtung (25 nm beidseitig, leitfähig)Oberfläche | 25 nm Schichtdicke | – | – | – | Platin-Iridium-Legierung (PtIr5) |
| Diamantbeschichtung von Spitzen (DT: ~100 nm polykristalliner Diamant; CDT: leitfähig)Oberfläche | ca. 100 nm Schichtdicke | – | – | – | Diamant (polykristallin) |
| Magnetische Beschichtungen (harte Magnetbeschichtung: Kobaltlegierung; weiche Magnetbeschichtung)Oberfläche | – | – | – | – | Kobalt-Legierung, weichmagnetisches Material (Koerzitivität ca. 0.75 Oe) |
| Herstellung von SuperSharpSilicon™-Spitzen (SSS, Radius bis 2 nm)Engineering | Radius garantiert < 5 nm (Ausbeute 80%) · Tip-Radius ca. 2 nm | 10 - 15 µm (Spitzenhöhe) | – | – | Silizium |
| Herstellung von High Aspect Ratio Spitzen (AR5/AR5T, Aspektverhältnis bis 7:1)Engineering | Aspektverhältnis min. 5:1 garantiert · Tip-Radius typ. 10 nm (garantiert < 15 | 10 - 15 µm (Spitzenhöhe) | – | – | Silizium |
| Sonderentwicklungen / kundenspezifische Sonden (Customized Solutions)Engineering | – | – | – | – | Silizium, Siliziumnitrid |
1 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Cleanroom (Reinraumproduktion) | – | – | – | – | Neuchâtel, Schweiz |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
Garantierte Werte wie Spitzenradius, Cantilevermaße und Ausbeuten (z. B. SuperSharpSilicon: Radius < 5 nm bei 80 % Ausbeute) sind je Produkt dokumentiert; Datenblätter liegen den Packungen bei.
| Nachweis | Neuchâtel |
|---|---|
| Datenblätter mit garantierten Werten |
Historie
- 2000
Gründung in Neuchâtel, Schweiz, durch Manfred Detterbeck mit Risikokapital.
- 2002
Übernahme der Marke und Technologie von Nanosensors.