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Metrologie- und Prozesskontrolllösungen für die Halbleiterfertigung: Material-, optische und chemische Messtechnik sowie Software.
Nova Ltd.
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Über Nova
Nova ist Anbieter von Metrologie- und Prozesskontrolllösungen für die Halbleiterfertigung. Das Portfolio umfasst Dimensional Metrology (optische Interferometrie, Scatterometry, Advanced Imaging, Hybrid Metrology), Materials Metrology (SIMS, XPS, XRF, Raman-Spektroskopie) sowie Chemical Metrology (Titration, optische Spektrophotometrie, HPLC, CVS) für Backend-Wafer-Level-Packaging und Frontend-Prozessschritte wie Dual-Damascene. Ergänzend bietet Nova Software-Lösungen auf Basis physikalischer Modellierung, Machine Learning und High-Performance Computing für komplexe 3D- und HAR-Strukturen. Die Plattformen liefern In-line-Messdaten, die Herstellern dabei helfen, Bauteilleistung, Ausbeute und Time-to-Market zu verbessern. Zielbranchen sind unter anderem Advanced Packaging, Waferfertigung, DRAM sowie Logik- und Memory-Technologien im Umfeld künstlicher Intelligenz.
- Verfahren
- Dimensional Metrology (Optical Interferometry), Dimensional Metrology (Optical Scatterometry), Advanced Imaging, Hybrid Metrology, Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS), X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS), X-Ray Fluorescence (XRF), Raman Spectroscopy
- Werkstoffe
- Dimensional Metrology (Optische Interferometrie, Scatterometry), Advanced Imaging, Hybrid Metrology, Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS), Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS), Röntgenfluoreszenz (XRF), Raman-Spektroskopie, Titration
- Branchen
- Halbleiterfertigung, Advanced Packaging, DRAM, Logik & Memory, Künstliche Intelligenz
- 01
Dimensional Metrology (Optische Interferometrie, Scatterometry, Advanced
- 02
Materials Metrology (SIMS, XPS, XRF, Raman-Spektroskopie)
- 03
Chemical Metrology (Titration, optische Spektrophotometrie, HPLC, CVS)
- 04
Modellierungssoftware (Physical Modeling, Machine Learning, HPC)
Technologien und Verfahren
Dimensional Metrology (Optische Interferometrie, Scatterometry)
In-line und integrierte optische Metrologie-Plattformen für Prozesskontrolle in fortgeschrittenen Halbleitertechnologien.
Advanced Imaging
Bildbasierte Messtechnik zur Prozesskontrolle über den Halbleiterfertigungszyklus.
Hybrid Metrology
Kombination verschiedener Messtechniken mit Modellierungsalgorithmen für komplexe Messaufgaben.
Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS)
Hochempfindliche In-line-Materialanalyse, die laborbasierte Referenzmesstechnik in der Fab ersetzen kann.
Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS)
Analyse dünner Schichten und Oberflächen für die Materials Metrology in der Halbleiterfertigung.
Röntgenfluoreszenz (XRF)
Berührungslose Schichtdicken- und Zusammensetzungsmessung auf Hochproduktivitätsplattformen.
Raman-Spektroskopie
Materialcharakterisierung für skalierbare In-line-Lösungen in der Fab.
Titration
Chemische Analyse zur Echtzeitüberwachung und Nachfüllung von Elektrolyten in Galvanisierprozessen.
Optische Spektrophotometrie
Analyse chemischer Bäder zur Sicherstellung hochwertiger Elektroplating-Prozesse.
Hochleistungs-Flüssigchromatographie (HPLC)
Chemische Metrologie für organische Analyten in Prozessbädern.
Cyclic Voltammetric Stripping (CVS)
Bestimmung von Zusätzen in Galvanikbädern für Backend-Packaging und Dual-Damascene.
Modellierungssoftware (Physical Modeling, Machine Learning, HPC)
Modell- und Big-Data-Algorithmen für hochgenaue Metrologie an komplexen 3D-Strukturen.
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Dimensional Metrology (Optical Interferometry)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Dimensional Metrology (Optical Scatterometry)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Advanced ImagingPrüfung | – | – | – | – | – |
| Hybrid MetrologyPrüfung | – | – | – | – | – |
| Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)Prüfung | – | – | – | – | – |
| X-Ray Photoelectron Spectroscopy (XPS)Prüfung | – | – | – | – | – |
| X-Ray Fluorescence (XRF)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Raman SpectroscopyPrüfung | – | – | – | – | – |
| Chemical Metrology / TitrationPrüfung | – | – | – | – | – |
| Optical SpectrophotometryPrüfung | – | – | – | – | – |
| High-Performance Liquid Chromatography (HPLC)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Cyclic Voltammetric Stripping (CVS)Prüfung | – | – | – | – | – |
| Modeling Software (Physical Modeling, Machine Learning, HPC)Engineering | – | – | – | – | – |
25 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova i500 | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova i570 HP | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova i550 | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova T550 | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova T500 | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova WMC | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova MMSR+ | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova Prism | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova VeloCD | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Materials Metrology | Nova Nova VeraFlex III+ | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Materials Metrology | Nova Nova VeraFlex IV | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Materials Metrology | Nova Nova VeraFlex III | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova RACS | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova QED | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova Metrion | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform | Nova Nova Elipson | – | – | – | – |
| Chemical Metrology Plattform | Nova Nova Ancolyzer | – | – | – | – |
| Chemical Metrology Plattform | Nova Nova AncoScene | – | – | – | – |
| Chemical Metrology Plattform | Nova Nova AncoFlex | – | – | – | – |
| Chemical Metrology Plattform | Nova Nova DMR | – | – | – | – |
| Software-Plattform | Nova Nova MARS | – | – | – | – |
| Software-Plattform | Nova Nova Fit | – | – | – | – |
| Software-Plattform | Nova Nova Hub | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova i580 | – | – | – | – |
| Metrologie-Plattform Dimensional Metrology | Nova Nova SemDex Series | – | – | – | – |
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