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SemiMat – Fertigung

Neuanfertigung, Reinigung, Reparatur und Vermessung von Quarzglasbauteilen für die Halbleiterindustrie

SemiMat Logo

SemiMat GmbH

BüdingenNeu auf Amplifa

Teil der Schunk GroupUnternehmenszugehörigkeit
25 JahreErfahrung im Quarzglasbereich
ISO-Klasse 5Reinraum
HRB 7368, Amtsgericht FriedbergRegistergericht

Über SemiMat

Die SemiMat GmbH aus Büdingen ist auf Quarzglas (Kieselglas, fused silica) spezialisiert und bietet einen kompletten Service rund um Quarzglasbauteile: von der Materialauswahl und -beschaffung über die Neuanfertigung in Einzel- und Serienfertigung bis hin zur Reinigung, Reparatur und Vermessung gebrauchter Teile. Das Unternehmen ist Teil der Schunk Group und blickt auf 25 Jahre Erfahrung im Quarzglasbereich zurück. Für die Reinigung steht ein Reinraum der ISO-Klasse 5 zur Verfügung, in dem Bauteile nasschemisch (mit verschiedenen Säuren), mechanisch und thermisch gereinigt sowie verpackt werden. Reparaturen umfassen das Verschmelzen von Rissen, das Aufarbeiten von Ausplatzungen, den Austausch von Anbauteilen wie Schliffen und Flanschen sowie Flammenpolieren und mechanische Bearbeitung. SemiMat vertreibt zudem Quarzglas-Rohmaterialien (Rohre, Stäbe, Platten, Blöcke, Flansche, Ringe, Scheiben), zugeschnitten über eigene Schneideinrichtungen, aus hochreinen Quarzmaterialien des Partners Momentive. Als offizieller und exklusiver Europa-Repräsentant des koreanischen Herstellers Vision Tech Co., Ltd. beliefert das Unternehmen primär die Halbleiterindustrie. Ein Hol- und Bringservice mit eigenen Fahrzeugen und Transportboxen ergänzt das Leistungsangebot.

Standort
Büdingen
Verfahren
Neuanfertigung von Quarzglasprodukten (Einzel- und Serienfertigung), Erstellung technischer Zeichnungen, Reparatur von Quarzglasbauteilen (Verschmelzen von Rissen), Reparieren von Ausplatzungen, Austausch von defekten Anbauteilen (Schliffe, Flansche), Flammenpolieren von Quarzglasoberflächen, Mechanische Bearbeitung von Quarzglas, Nasschemische Reinigung mittels verschiedener Säuren
Werkstoffe
Quarzglas (Kieselglas, fused silica), Hochreine Quarzmaterialien (Momentive)
Zertifikate
ISO 9001:2015, ISO 9001
Branchen
Halbleiterindustrie
  1. 01

    Beratung & Materialauswahl

  2. 02

    Beschaffung von Quarzglas-Rohmaterialien

  3. 03

    Zuschnitt über eigene Schneideinrichtungen

  4. 04

    Fertigung / Neuanfertigung

  5. 05

    Reinigung im Reinraum ISO-Klasse 5

  6. 06

    Vermessung

  7. 07

    Verpackung & Transport (Hol- und Bringservice)

Werkstoffe & Verfahren

Fused Silica

Quarzglas (Kieselglas, fused silica)

Grundmaterial aller gefertigten, gereinigten und reparierten Bauteile mit besonderen Materialeigenschaften für die Halbleiterindustrie.

Hi-Q

Hochreine Quarzmaterialien (Momentive)

Hochreine Spezialmaterialien mit hoher optischer Klarheit und Langlebigkeit in extremen Umgebungen.

Standorte

Standort Büdingen

Büdingen

DE

Hauptsitz mit Produktion, Reinraum (ISO-Klasse 5) und Lager

Losgröße
Einzelstück bis Serie
Werkstoffe
Quarzglas
  • 3D-Koordinatenmessmaschine
  • Reinigungsanlagen im Reinraum ISO-Klasse 5
  • Schneideinrichtungen für Quarzglas

Bauteile

Upper Dome
Upper DomeQuarzglas · Halbleiterindustrie
Upper Liner
Upper LinerQuarzglas · Halbleiterindustrie
Lower Liner
Lower LinerQuarzglas · Halbleiterindustrie
Lower Dome
Lower DomeQuarzglas · Halbleiterindustrie
AMAT Centura Epi Bauteil
AMAT Centura Epi BauteilQuarzglas · Halbleiterindustrie
Epi Lampe
Epi LampeQuarzglas · Halbleiterindustrie
Wafer Lift Shaft
Wafer Lift ShaftQuarzglas · Halbleiterindustrie
Suszeptor Support Shaft
Suszeptor Support ShaftQuarzglas · Halbleiterindustrie
Insert Inject
Insert InjectQuarzglas · Halbleiterindustrie
Disk Gas LAM
Disk Gas LAMQuarzglas · Halbleiterindustrie
Hitachi Window
Hitachi WindowQuarzglas · Halbleiterindustrie
RTP Lampe
RTP LampeQuarzglas · Halbleiterindustrie
LAM Confinement Ring
LAM Confinement RingQuarzglas · Halbleiterindustrie

Einblicke in die Fertigung

Quarzglas-Rohmaterial
Quarzglas-Rohmaterial
Produkte aus Quarzglas
Produkte aus Quarzglas
Reparatur von Quarzglasbauteilen
Reparatur von Quarzglasbauteilen
Schunk Group Headquarter
Schunk Group Headquarter

Branchen

Halbleiterindustrie

Verfahren & technische Grenzen

VerfahrenToleranzMax. BauteilGewichtLosgrößeWerkstoffe
Neuanfertigung von Quarzglasprodukten (Einzel- und Serienfertigung)Engineering–––Einzelstück – SerieQuarzglas
Erstellung technischer ZeichnungenEngineering–––––
Reparatur von Quarzglasbauteilen (Verschmelzen von Rissen)Fügen––––Quarzglas
Reparieren von AusplatzungenOberfläche––––Quarzglas
Austausch von defekten Anbauteilen (Schliffe, Flansche)Montage––––Quarzglas
Flammenpolieren von QuarzglasoberflächenOberfläche––––Quarzglas
Mechanische Bearbeitung von QuarzglasZerspanung––––Quarzglas
Nasschemische Reinigung mittels verschiedener SäurenOberfläche––––Quarzglas
Mechanische ReinigungsverfahrenOberfläche––––Quarzglas
Thermische ReinigungsverfahrenWärmebehandlung––––Quarzglas
Reinigung und Verpackung im Reinraum ISO-Klasse 5Oberfläche––––Quarzglas
Vermessung von Quarzglasbauteilen (einfache Messung bis 3D-Koordinatenmessmaschine)Prüfung––––Quarzglas
Zuschnitt von Quarzglas-Rohmaterialien mittels eigener SchneideinrichtungenZerspanung––––Quarzglas
Lieferung von Quarzglas-Rohmaterialien (Rohre, Stäbe, Platten, Blöcke, Flansche, Ringe, Scheiben)Engineering––––Quarzglas
Hol- und Bringservice inkl. Verpackung in TransportboxenMontage–––––

3 Anlagen & Maschinen

MaschineHersteller / ModellAnzahlArbeitsraumBaujahrStandort
3D-Koordinatenmessmaschine––––Büdingen
Reinigungsanlagen im Reinraum ISO-Klasse 5––––Büdingen
Schneideinrichtungen für Quarzglas––––Büdingen

Zusatzleistungen

Neuanfertigung von Quarzglasbauteilen (Einzel- und Serienfertigung)Beratung und Entwicklung spezieller QuarzglasbauteileErstellung technischer ZeichnungenMaterialauswahl und -beschaffungVertrieb von Quarzglas-Rohmaterialien (Rohre, Stäbe, Platten, Blöcke, Flansche, Ringe, Scheiben)Zuschnitt über eigene SchneideinrichtungenLagerhaltung gängiger QuarzmaterialienReinigung von Quarzglasteilen (nass-chemisch mit Säuren, mechanisch, thermisch) im ReinraumReparatur von Quarzglasbauteilen (Verschmelzen von Rissen, Aufarbeiten von Ausplatzungen, AustauschVermessung inkl. 3D-KoordinatenmessmaschineHol- und Bringservice inkl. Verpackung und Transport mit eigenen Fahrzeugen

Qualität

Die SemiMat GmbH ist nach ISO 9001:2015 zertifiziert (DEKRA, Registernummer 90515281/3, gültig bis 11.05.2027) und verfügt über einen Reinraum der ISO-Klasse 5 für Prüfung, Reinigung und Verpackung. Die Vermessung reicht von einfachen Messungen bis zur 3D-Koordinatenmessmaschine für hochkomplexe Bauteile.

NachweisBüdingen
ISO 9001

Historie

  1. SemiMat ist jetzt Teil der Schunk Group

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