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Entwicklung und Fertigung von Plasmaprozessanlagen und Dünnschicht-Messtechnik für die Halbleiterindustrie und -forschung.
SENTECH Instruments GmbH
Berlin-AdlershofNeu auf Amplifa
Über SENTECH Instruments
SENTECH Instruments GmbH entwickelt und fertigt Anlagen für die Plasma-Prozesstechnik sowie Werkzeuge für die Dünnschicht-Messtechnik. Das Produktportfolio umfasst Systeme für Low-Damage-Plasmaätzprozesse, ICPECVD-Deposition (Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung), Atomlagenabscheidung (ALD) sowie Cluster-Konfigurationen für kombinierte Ätz- und Abscheidelösungen. Im Bereich Messtechnik bietet das Unternehmen spektroskopische Ellipsometrie, spektroskopische Reflektometrie, Laser-Ellipsometrie, In-situ-Messtechnik und Endpoint-Detection für die Qualitätskontrolle von Dünnschichten. Einsatzfelder liegen in der Halbleiterforschung und -industrie, darunter Optoelektronik, MEMS, Sensorik, Leistungshalbleiter auf Basis von GaN und SiC, Quantentechnologien und Qualitätskontrolle. Das Unternehmen unterstützt seine Kunden mit weltweitem Vertrieb, Anwendungsbetreuung über die Systemlebensdauer sowie technischem Service. SENTECH ist in Berlin-Adlershof angesiedelt, einem der führenden Wissenschafts- und Technologieparks Deutschlands.
- Standort
- Berlin-Adlershof
- Verfahren
- Plasma Etching, ICPECVD Systems (Deposition), Atomic Layer Deposition, Cluster Configuration for Plasma Etching and Deposition, Spectroscopic Ellipsometry, Spectroscopic Reflectometry, Laser Ellipsometry, In-situ Metrology / Endpoint Detection
- Werkstoffe
- GaN, SiC, Galliumnitrid (GaN), Siliziumkarbid (SiC), Plasma-Ätzen (Plasma Etching), ICPECVD-Deposition, Atomlagenabscheidung (ALD), Spektroskopische Ellipsometrie
- Zertifikate
- Application Support über die Systemlebensdauer, Technischer Service Support, Weltweites Vertriebsnetz
- Branchen
- Halbleiterindustrie und Halbleiterforschung, Optoelektronik, MEMS, Sensorik, Leistungshalbleiter (GaN/SiC), Qualitätskontrolle
- 01
Engineering und Systementwicklung
- 02
Fertigung von Plasmaprozessanlagen
- 03
Fertigung von Dünnschicht-Messtechnik
- 04
Weltweiter Vertrieb
- 05
Anwendungsbetreuung über die Systemlebensdauer
- 06
Technischer Service
Prozesse und Materialien
Galliumnitrid (GaN)
Materialsystem für Plasmaprozesse in der Leistungshalbleiterfertigung (Power Devices).
Siliziumkarbid (SiC)
Materialsystem für Plasmaprozesse in der Leistungshalbleiterfertigung (Power Devices).
Plasma-Ätzen (Plasma Etching)
Low-Damage-Plasmaätzprozesse für Forschung und Industrie.
ICPECVD-Deposition
Plasma-unterstützte chemische Gasphasenabscheidung von Dünnschichten.
Atomlagenabscheidung (ALD)
Präzise Abscheidung von Dünnschichten in atomarer Schichtdicke.
Spektroskopische Ellipsometrie
Messtechnik für wiederholbare und genaue Dünnschichtcharakterisierung.
Spektroskopische Reflektometrie
Messtechnik zur Charakterisierung von Dünnschichten für die Qualitätskontrolle.
Laser-Ellipsometrie
Optische Messtechnik für Schichtdickenbestimmung.
In-situ-Messtechnik / Endpoint-Detection
Prozessbegleitende Messung und Endpunkterkennung während des Ätz- und Abscheidprozesses.
Standort
Berlin-Adlershof
DEHauptsitz mit Entwicklung und Fertigung
Anlagen und Systeme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Plasma EtchingOberfläche | – | – | – | – | Halbleiter, GaN, SiC |
| ICPECVD Systems (Deposition)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Atomic Layer DepositionOberfläche | – | – | – | – | – |
| Cluster Configuration for Plasma Etching and DepositionOberfläche | – | – | – | – | – |
| Spectroscopic EllipsometryPrüfung | – | – | – | – | – |
| Spectroscopic ReflectometryPrüfung | – | – | – | – | – |
| Laser EllipsometryPrüfung | – | – | – | – | – |
| In-situ Metrology / Endpoint DetectionPrüfung | – | – | – | – | – |
| Metrology for Quality ControlPrüfung | – | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Qualität und Anwendungssupport
SENTECH begleitet seine Kunden mit Expert Application Support über die gesamte Systemlebensdauer und stellt ein weltweites Vertriebs- und technisches Servicenetz bereit.
| Nachweis | Berlin-Adlershof |
|---|---|
| Application Support über die Systemlebensdauer | |
| Technischer Service Support | |
| Weltweites Vertriebsnetz |