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Fertigung von SPM-Probe-Tips, Probe-Tip-Charakterizern und Silizium-basierten 3D-MEMS-Komponenten.
Team Nanotec GmbH
Villingen-SchwenningenNeu auf Amplifa
Über Team Nanotec
Die Team Nanotec GmbH wurde 1997 als Spin-off von IBM Deutschland gegründet und entwickelt sowie fertigt am Hauptsitz in Villingen-Schwenningen Mikro- und Nanokomponenten auf Siliziumbasis. Das Portfolio umfasst SPM-Probe-Tips (AFM-Cantilever) für die Rastersondenmikroskopie, Probe-Tip-Charakterizer für die quantitative 3D-AFM, strahlformende Aperturen auf MEMS-Basis sowie Stencil-Masken. Neben Standardprodukten entwickelt und fertigt das Unternehmen kundenspezifische Cantilever und Probe-Tips. Gefertigt wird unter anderem in Batch-Prozessen aus Einkristall-Silizium, Siliziumnitrid und Metallen; die MEMS-Aperturen zeichnen sich durch kontrollierte Profile, glatte Seitenwände und kleine Eckradien aus. Kunden stammen aus Scan-/Rastersondenmikroskopie, Metrologie, Materialcharakterisierung und Mikro-/Nanofabrikation. Zur Gewährleistungssicherung werden SPM-Produkte im Haus mit einem Elektronenstrahlmikroskop vermessen.
- Standort
- Villingen-Schwenningen
- Verfahren
- Mikro- und Nanofabrikation (SPM-Spitzen, Charakterisierer, 3D-MEMS), Batch-Fertigung von Silizium-SPM-Spitzen (AFM Cantilever/Probe Tips), Herstellung kundenspezifischer Cantilever und Probe Tips, Stencil-Mask-Technologie, MEMS-Fertigung von Strahlformungs-Aperturen (Beam shaping apertures) mit kontrollierten Profilen,, Herstellung von Probe Tip Characterizern (z. B. I²FSR, CDR-Probes), Vermessung von SPM-Produkten mit Elektronenstrahlmikroskop (Gewährleistungs-relevante, Kundenspezifische Cantilever- und Probetip-Entwicklung und -fertigung
- Werkstoffe
- Silizium (Einkristall, high quality single crystal silicon), Siliziumnitrid, Metalle
- Gegründet
- 1997
- Branchen
- Scan-/Rastersondenmikroskopie (SPM/AFM), Metrologie, Materialcharakterisierung, Mikro- und Nanofabrikation
- 01
Entwicklung kundenspezifischer Cantilever und MEMS-Komponenten
- 02
Mikro- und Nanofabrikation (Batch-Fertigung)
- 03
Elektronenstrahlmikroskopische Vermessung und Prüfung
- 04
Versand ab Werk
Standorte
Villingen-Schwenningen
DEHauptsitz, Entwicklung und Fertigung
- Werkstoffe
- Silizium, Siliziumnitrid, Metalle
- Elektronenstrahlmikroskop (Vermessung)
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Mikro- und Nanofabrikation (SPM-Spitzen, Charakterisierer, 3D-MEMS)Engineering | – | – | – | – | Silizium, Siliziumnitrid, Metalle |
| Batch-Fertigung von Silizium-SPM-Spitzen (AFM Cantilever/Probe Tips)Engineering | – | – | – | – | Silizium (Einkristall) |
| Herstellung kundenspezifischer Cantilever und Probe TipsEngineering | – | – | – | – | Silizium |
| Stencil-Mask-TechnologieEngineering | – | – | – | – | Silizium |
| MEMS-Fertigung von Strahlformungs-Aperturen (Beam shaping apertures) mit kontrollierten Profilen,Engineering | – | – | – | – | Silizium, Siliziumnitrid, Metalle |
| Herstellung von Probe Tip Characterizern (z. B. I²FSR, CDR-Probes)Engineering | – | – | – | – | Silizium |
| Vermessung von SPM-Produkten mit Elektronenstrahlmikroskop (Gewährleistungs-relevantePrüfung | – | – | – | – | – |
Zusatzleistungen
Historie
- 1997
Gründung der Team Nanotec GmbH als Spin-off von IBM Deutschland