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Entwicklung und Fertigung von Vakuum-Vakuumbeschichtungsanlagen für Funktions- und optische Schichten auf Glas, Wafern, Metallband und Polymerfolien.
VON ARDENNE GmbH
Dresden (Hauptsitz) · Dresden-Niedersedlitz · Shanghai · Chennai · Kulim · Perrysburg (OH) · Ho Chi Minh CityNeu auf Amplifa
Über VON ARDENNE
Die VON ARDENNE GmbH entwickelt und produziert in Dresden industrielle Vakuum-Vakuumbeschichtungsanlagen für funktionale Dünnschichten auf Substraten wie Glas, Wafern (Si, InP, GaAs), Metallband und Polymerfolien. Die Kernverfahren sind physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), insbesondere Magnetronsputtern und Elektronenstrahlverdampfung, ergänzt um Bootverdampfung, Hochstrom-Laser-Arc-Verdampfung, Ionenstrahl- und Arc-Prozesse sowie PECVD, ALD und HiPIMS. Die Anlagen kommen unter anderem in der Photovoltaik (TOPCon, HJT, Perovskit-Tandem), der Wasserstofftechnik (Bipolarplatten für PEM-Brennstoffzellen und Elektrolyseure), der Halbleiter- und Leistungselektronik, der Präzisions- und Großflächenoptik, dem Architekturglasbau und im Roll-to-Roll-Verpackungsbereich zum Einsatz. Beschichtete astronomische Spiegel bis 8,4 m Durchmesser werden auf SKYVA-Systemen gefertigt. Das Unternehmen wurde 1991 aus dem Forschungsinstitut Manfred von Ardenne ausgegründet, beschäftigt rund 1300 Mitarbeitende weltweit und betreibt neben dem Hauptsitz in Dresden-Weißig mit 600 m² Reinraum Standorte in China, Indien, Malaysia, den USA und Vietnam. Über 1000 Anlagen sind in mehr als 50 Ländern im Einsatz.
- Standort
- Dresden
- Verfahren
- PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung), Elektronenstrahlverdampfung (Electron Beam Evaporation), Magnetronsputtern (Magnetron Sputtering), Bootverdampfung (Thermal Evaporation of Aluminum), Thermisches Verdampfen organischer & anorganischer Materialien, Laser-Arc-Verdampfung (High Current Laser Arc) für Kohlenstoffbeschichtungen, Ionenstrahlprozesse (Ion Beam Processes), Arc Evaporation
- Werkstoffe
- Glas, Wafers (Si, InP, GaAs), Metallband (Metal Strip), Polymerfolien (Polymer Films), Aluminium (Al), Kupfer (Cu), Titan (Ti), TCO: ITO (Indium Tin Oxide)
- Zertifikate
- ISO 9001:2015, ISO 45001:2018, ISO 14001
- Gegründet
- 1991
- Mitarbeiter
- 1300
- Branchen
- Photovoltaik, Wasserstofftechnik (Brennstoffzellen & Elektrolyse), Halbleiter / Advanced Packaging / MEMS, Leistungselektronik (SiC, GaN, Ga2O3), Präzisionsoptik / Photonik, Großflächenoptik / Astronomie / Raumfahrt
- 01
Engineering (Simulation, Layout, Schichtentwicklung)
- 02
Technologie- & Applikationszentrum: Sampling und Skalierung
- 03
Entwicklung und Fertigung der Anlagenkomponenten (u. a. Elektronenstrahlkanonen)
- 04
Montage und Reinraum-fähige Inbetriebnahme
- 05
Qualifizierung von Schichtsystemen und Pilotbeschichtung
- 06
weltweiter Service, Ersatzteile, Upgrades und Schulungen
Werkstoffe & Beschichtungsverfahren
Elektronenstrahlverdampfung
Verdampfung hochreaktiver und hochschmelzender Metalle mit Eigenfertigung von Elektronenstrahlkanonen bis 1.200 kW Strahlleistung; Beschichtungsraten 10- bis 100-fach höher als beim Sputtern.
Magnetronsputtern
Schlüsselverfahren aus eigener Entwicklung und Fertigung für Schichten auf Glas, Wafern, Metallband und Polymerfolien.
Bootverdampfung (Thermisches Verdampfen von Aluminium)
Thermische Aluminiumbeschichtung für reflektierende und leitfähige Funktionslagen.
Hochstrom-Laser-Arc-Verdampfung
Abscheidung von Kohlenstoffschichten (X-CONDUCT) bis 30 µm ta-C-Schichtdicke und Härten bis 80 GPa, u. a. für Bipolarplatten.
HiPIMS-Abscheidung
Dichte, haftfeste Schichten für Panel-Level-Packaging in der Halbleiterfertigung.
PECVD & ALD
Chemische Gasphasenabscheidungsprozesse zur Integration in VA-Beschichtungsanlagen.
Ionenstrahl- & Arc-Prozesse
Verfahren der Tochterunternehmen zur präzisen Oberflächenbehandlung in VA-Anlagen.
ITO / AZO
Transparente leitfähige Oxide für Solarzellenkontaktlagen.
Silber & Gold
Reflektive Metalllagen für Teleskopspiegel und Präzisionsoptik.
SiOx-Barriereschichten
Transparente anorganische Barrierelagen im Roll-to-Roll-Verfahren für recyclebare Verpackungen.
Standorte
Dresden
DEHauptsitz, Entwicklung, Zentralfertigung, Technologie- & Applikationszentrum, Customer Training Center, Reinraum
- Werkstoffe
- Glas, Wafer, Metallband, Polymerfolien
- HISS Sputteranlage
- GIGANOVA Horizontal Coating System
- XEANOVA Inline Coating System
- VERA Evaporation System
- OPTA X300 Rotary Disk Coating System
- CLUSTER SYSTEMS
- VISS Vertical Coating System
- SKYVA/SKYVA2000 (Spiegel bis 8,4 m)
- VICA/VICA900
- MSC500/MSC1250
- Elektronenstrahlkanonen bis 1.200 kW
- 600 m² Halbleiter-Reinraum
Shanghai
CNTochtergesellschaft VAVE: Vertrieb, Service, Ersatzteile, eigene Produktion
Kulim
MYTochtergesellschaft VAMA: Service, Vertrieb, Ersatzteile, Zollager seit 2014
Perrysburg (OH)
USTochtergesellschaft VANA: Service und Vertrieb Nordamerika
Ho Chi Minh City
VNServicestandort VAVN für Photovoltaik und Architekturglas
Chennai
INTochtergesellschaft VAID: Vertrieb, Service, Inbetriebnahme, Ersatzteile
Anlagen & Systeme
Einblicke in die Fertigung
Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| PVD (Physikalische Gasphasenabscheidung)Oberfläche | – | – | – | – | Glas, Wafers, Metallband, Polymerfolien |
| Elektronenstrahlverdampfung (Electron Beam Evaporation)Oberfläche | – | – | – | – | hochreaktive und hochschmelzende Metalle, Aluminium |
| Magnetronsputtern (Magnetron Sputtering)Oberfläche | – | – | – | – | Glas, Wafers, Metallband, Polymerfolien |
| Bootverdampfung (Thermal Evaporation of Aluminum)Oberfläche | – | – | – | – | Aluminium |
| Thermisches Verdampfen organischer & anorganischer MaterialienOberfläche | – | – | – | – | organische & anorganische Materialien |
| Laser-Arc-Verdampfung (High Current Laser Arc) für KohlenstoffbeschichtungenOberfläche | – | – | – | – | Kohlenstoff (Carbon), Metallband/Bipolarplatten |
| Ionenstrahlprozesse (Ion Beam Processes)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| Arc EvaporationOberfläche | – | – | – | – | – |
| PECVD (Chemische Gasphasenabscheidung)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| ALD (Atomic Layer Deposition)Oberfläche | – | – | – | – | – |
| HiPIMS Abscheidung (für Panel-Level Packaging)Oberfläche | – | – | – | – | Halbleiter (Semiconductor), Wafer/Panels |
| Roll-to-Roll Electron Beam Evaporation (SiOx Barrier Layer)Oberfläche | – | – | – | – | SiOx, Polymerfolien (Flexible Packaging) |
| Roll-to-Roll Vakumbeschichtung (Metal Strip Coating)Oberfläche | – | – | – | – | Metallband (Metal Strip) |
| PVD-Beschichtung metallischer Bipolarplatten (Pre-/Mid-/Post-Coating)Oberfläche | – | – | – | – | Metallband, Metallplatten, Edelstahl (impliziert für Bipolarplatten) |
| X-CONDUCT Carbon Coating (Kohlenstoffbasierte Schichtstapeln)Oberfläche | – | – | – | – | Metallische Bipolarplatten (PEM Brennstoffzellen), Kohlenstoff |
| Edelmetallbeschichtung für PEM-ElektrolyseureOberfläche | – | – | – | – | Edelmetalle (Noble Metals), Metallband/Platten |
| Beschichtung für BC-Solarzellen (Seed Layers, PVD)Oberfläche | – | – | – | – | TCO (ITO, AZO), Titan, Kupfer, Aluminium, Silizium (impliziert) |
| Dielektrische Spiegelbeschichtung (CARS-Prozesstechnologie)Oberfläche | – | – | – | – | Glas, dielektrische Materialien |
| Beschichtung großer optischer Flächen (Teleskopspiegel bis 8,4 m)Oberfläche | Oberflächengenauigkeit ca. 20 nm | – | – | – | Aluminium, Silber, Gold, dielektrische Materialien, Glas |
| Antireflex- und Filterbeschichtung auf Linsen & optischen DomenOberfläche | – | – | – | – | Glas, Wafer (Si, InP, GaAs) |
| MEMS-Beschichtung (Metall-, Halbleiter- & Passivierungsschichten)Oberfläche | – | – | – | – | Metalle, Halbleiter, nicht-metallische Materialien, Glas, Wafers |
| Inline-Glasbeschichtung (Architekturglas)Oberfläche | – | – | – | – | Glas |
| Engineering (Simulation, Sampling, Layout)Engineering | – | – | – | – | – |
| Technology & Application Center: Sampling, Layer Development & PilotbeschichtungEngineering | – | – | – | – | Kundenspezifische Schichtsysteme |
| Cleanroom-fähiges Sampling, Montage & Inbetriebnahme (600 m² Halbleiter-Reinraum)Montage | – | – | – | – | Präzisionsoptik, Photonik, Halbleiter |
| Service: Wartung, Inspektion, Upgrades, Retrofits, Ersatzteile, SchulungMontage | – | – | – | – | – |
| Kundenspezifische Beschichtung als Lohnfertigung (Schichtentwicklung, -qualifizierung)Oberfläche | – | – | – | – | Glas, Metallband, Polymerfolien, Wafers |
13 Anlagen & Maschinen
| Maschine | Hersteller / Modell | Anzahl | Arbeitsraum | Baujahr | Standort |
|---|---|---|---|---|---|
| Vakumbeschichtungsanlage (Magnetron Sputtering, Horizontal Coating System) | VON ARDENNE HISS | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Horizontal Coating System (Gigawatt-Skala) | VON ARDENNE GIGANOVA | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Inline Coating System | VON ARDENNE XEANOVA | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Evaporation System für optische Anwendungen | VON ARDENNE VERA | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Rotary Disk Coating System | VON ARDENNE OPTA X / OPTA X300 | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Cluster System für Forschung, Entwicklung & Produktion | VON ARDENNE CLUSTER SYSTEMS | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Vertical Coating System | VON ARDENNE VISS | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Vacuum Coating System für große astronomische Spiegel (bis 8,4 m) | VON ARDENNE SKYVA / SKYVA2000 | – | Spiegel bis 8,4 m Durchmesser | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Metal Strip Coating System (Roll-to-Roll) | VON ARDENNE MSC500 | – | – | – | – |
| Metal Strip Coating System (Roll-to-Roll) | VON ARDENNE MSC1250 | – | – | – | – |
| Vertical Coating System (Sheet-to-Sheet, Bipolarplatten) | VON ARDENNE VICA / VICA900 | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Elektronenstrahlkanone (bis 1.200 kW Strahlleistung) | VON ARDENNE | – | – | – | Dresden, Deutschland (Produktion) |
| Halbleiter-Reinraum (600 m², AMC-fähig) für Sampling, Montage & Inbetriebnahme | VON ARDENNE | – | 600 m² | – | Dresden, Deutschland |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualitätsmanagement
Das Qualitätsmanagementsystem ist nach DIN EN ISO 9001 zertifiziert und umfasst qualitätsorientiertes Lieferantenmanagement, standardisierte Review-Gates im Engineering, mehrstufige Materialbewertung sowie ein systematisches Fehlermanagement über den gesamten Anlagenlebenszyklus. Zusätzlich besteht eine Zertifizierung nach ISO 45001 für Arbeitsschutz.
| Nachweis | Dresden |
|---|---|
| ISO 9001:2015 | |
| ISO 45001:2018 | |
| ISO 14001 |
Unternehmenshistorie
- 1950er
Beteiligung an der Entwicklung der Elektronenstrahlverdampfung am Umfeld des Forschungsinstituts Manfred von Ardenne
- 1970er
Pionierrolle bei der Entwicklung der Magnetron-Sputter-Technologie
- 1991
Ausgründung der VON ARDENNE GmbH aus dem Forschungsinstitut Manfred von Ardenne mit 67 Mitarbeitenden und 35 Jahren Know-how
- 1994/95
Durchbruch mit Großauftrag für eine Inline-Glasbeschichtungsanlage
- 1996
Bau des zweiten Standorts auf 3.200 m² in Dresden-Weißig, dem heutigen Hauptsitz
- 2002
Markteintritt in China im Bereich Glasbeschichtungssysteme
- 2006
Gründung der VON ARDENNE Vacuum Equipment (Shanghai) Co., Ltd. (VAVE)
- 2008
Umwandlung der Repräsentanz in VON ARDENNE Malaysia Sdn. Bhd., Kulim
- 2011
Gründung von VON ARDENNE North America, Inc. (VANA), Perrysburg, USA
- 2014
Einrichtung eines Zollagers für Ersatzteile in Malaysia
- 2017
Gründung von VON ARDENNE Vietnam, Corp., Ltd., Ho Chi Minh City
- 2022
Aufnahme des Betriebs von VON ARDENNE India Pvt. Ltd. (VAID) in Chennai
- 2025
Erste Ergebnisse des Vera C. Rubin Observatory mit VON ARDENNE-Beschichtungstechnologie