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Hersteller von Siliziumkarbid-Substraten, SiC-Epitaxie, GaN-auf-SiC-Materialien und SiC-Leistungsbauelementen
Wolfspeed, Inc.
Durham, NC (HQ) · Fayetteville, AR · Marcy, NY · Research Triangle Park, NC · Siler City, NC · Unterschleißheim (Wolfspeed Europe GmbH) · Milton Keynes · Paris · Vicenza · Shanghai · Shenzhen · TokyoNeu auf Amplifa
Über Wolfspeed
Wolfspeed ist ein US-amerikanisches Halbleiterunternehmen (NYSE-gelistet, ehemals Cree, Inc.) mit Sitz in Durham, North Carolina, das auf Siliziumkarbid (SiC) und Galliumnitrid (GaN) spezialisiert ist. Das Unternehmen fertigt leitfähige n-type 4H-SiC-Substrate in 100 mm, 150 mm und 200 mm Durchmesser, High-Purity-Semi-Insulating-(HPSI-)SiC-Substrate für RF-Anwendungen sowie n- und p-leitende SiC-Epitaxie mit Schichtdicken bis 200 µm und Custom-Epitaxie. Darüber hinaus bietet Wolfspeed GaN-, AlGaN- und AlInN-Epitaxie auf HPSI-SiC-Substraten bis 150 mm an. Als erster US-basierter vertikal integrierter SiC-Hersteller (Silicon Carbide Corridor) fertigt das Unternehmen zudem SiC-MOSFETs, Schottky-Dioden und Power Modules end-to-end. Die Materialien dienen als Ausgangsprodukte für Leistungs- und RF-Halbleiter in Elektromobilität, Erneuerbaren Energien, Telekommunikation, Bahntraktion, industrieller Motorsteuerung, Rechenzentren und Luft- und Raumfahrt. Neben Produktionssubstraten werden Referenzdesigns, Evaluation Kits, Failure Analysis und IP-Lizenzierung angeboten.
- Standort
- Durham, North Carolina, USA
- Verfahren
- Herstellung von leitfähigen n-type SiC-Substraten (4H-SiC, Waferproduktion), SiC-Epitaxie (n-type und p-type, einschließlich Thick Epitaxy), Herstellung von High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC-Substraten, GaN-Epitaxie (GaN, AlxGa1-xN, Al1-yInyN auf SiC-Substraten), CMP-Politur der Silizium-Fläche (Double-Sided Polish, Si Face CMP Epi Ready), Laser-Markierung von Wafern (OCR-kompatibel, SEMI M12 / SEMI T5), End-to-End Power-Device-Fabrikation (SiC MOSFETs, Schottky-Dioden, Power Modules), Produktprüfung und Zuverlässigkeitstests (AEC, IATF, ISO9001, AS9100, JEDEC)
- Werkstoffe
- 4H-Siliziumkarbid (n-type, leitfähig), 4H-Siliziumkarbid (High Purity Semi-Insulating), Siliziumkarbid (allgemein), Galliumnitrid, Aluminiumgalliumnitrid, Aluminiumindiumnitrid, 4H-Siliziumkarbid, leitfähig (0.015–0.028 Ω·cm), 4H-Siliziumkarbid, High Purity Semi-Insulating (≥1E8 Ω·cm)
- Zertifikate
- ISO 9001 (QMS), ISO 14001 (EMS), ISO 45001 (OHS), ISO 14067 (PCF, verifiziert), AEC / IATF / JEDEC / AS9100
- Branchen
- Elektromobilität (EV, Nutzfahrzeuge, Off-Highway), Erneuerbare Energien/Energiespeicher, Basisstationen & Telekommunikation, Traction/Schiene, Industrielle Motorsteuerung, Power Management/Energieversorgung
- 01
SiC-Kristallzüchtung (Boules)
- 02
Waferfertigung (Sägen, Politur, CMP)
- 03
SiC-/GaN-Epitaxie
- 04
Power-Device-Fabrikation (MOSFET, Schottky-Diode)
- 05
Power-Module-Montage
- 06
Prüfung & Zuverlässigkeitstests
Materialien & Verfahren
4H-Siliziumkarbid, leitfähig (0.015–0.028 Ω·cm)
Substratmaterial für SiC-MOSFETs und Schottky-Dioden in der Leistungselektronik, verfügbar in 150 mm und 200 mm.
4H-Siliziumkarbid, High Purity Semi-Insulating (≥1E8 Ω·cm)
Halbleitendes Substrat für GaN-HEMTs in RF-Anwendungen, verfügbar in 100 mm und 150 mm.
SiC-Epitaxie (n-type, p-type, Thick Epitaxy bis 200 µm)
Dotierschichten (Stickstoff/Aluminium) für Leistungshalbleiter mit Schichtdicken 0,2–200 µm und Custom-Strukturen.
GaN, AlGaN, AlInN auf SiC
Nitrid-Epitaxie für HEMTs mit weltweit führender Bandbreite, Effizienz und Betriebsfrequenz in Telecom-, Luft- und Raumfahrtanwendungen.
Chemisch-mechanische Politur (Si-Face CMP Epi Ready)
Doppelseitige Politur der Siliziumfläche für epi-fertige Substratoberflächen.
Wafer-Laserbeschriftung (SEMI M12/T5, OCR-kompatibel)
OCR-kompatible Lasermarkierung zur Authentifizierung und Fehlervermeidung bei der Waferverarbeitung.
Standorte

Durham, North Carolina
USHeadquarters, Fertigung (Substrate & Power Devices)
- Werkstoffe
- 4H-SiC (n-type, HPSI), SiC-Epitaxie, GaN-Epitaxie
Fayetteville
USStandort mit SiC-Expertise/Produktion
- Werkstoffe
- Siliziumkarbid
Marcy, New York
USStandort
Siler City, North Carolina
USStandort
Unterschleißheim
DEWolfspeed Europe GmbH (Vertrieb/Support EMEA)
Produkte


Einblicke in die Fertigung



Branchen
Verfahren & technische Grenzen
| Verfahren | Toleranz | Max. Bauteil | Gewicht | Losgröße | Werkstoffe |
|---|---|---|---|---|---|
| Herstellung von leitfähigen n-type SiC-Substraten (4H-SiC, Waferproduktion)Guss | – | – | – | – | 4H-SiC (n-type), Siliziumkarbid |
| SiC-Epitaxie (n-type und p-type, einschließlich Thick Epitaxy)Guss | Dotierkonzentration ±12–20% (n-type), ±25–50% (p-type); | – | – | – | 4H-SiC, Siliziumkarbid |
| Herstellung von High Purity Semi-Insulating (HPSI) SiC-SubstratenGuss | – | – | – | – | 4H-SiC (HPSI), Siliziumkarbid |
| GaN-Epitaxie (GaN, AlxGa1-xN, Al1-yInyN auf SiC-Substraten)Guss | Δx=±0.015, Δy=±0.02; Schichtdicke ±15% | – | – | – | GaN, AlGaN, AlInN, 4H-SiC |
| CMP-Politur der Silizium-Fläche (Double-Sided Polish, Si Face CMP Epi Ready)Oberfläche | – | – | – | – | 4H-SiC |
| Laser-Markierung von Wafern (OCR-kompatibel, SEMI M12 / SEMI T5)Oberfläche | – | – | – | – | 4H-SiC |
| End-to-End Power-Device-Fabrikation (SiC MOSFETs, Schottky-Dioden, Power Modules)Engineering | – | – | – | – | Siliziumkarbid (SiC) |
| Produktprüfung und Zuverlässigkeitstests (AEC, IATF, ISO9001, AS9100, JEDEC)Prüfung | – | – | – | – | Siliziumkarbid (SiC), Galliumnitrid (GaN) |
Zusatzleistungen
Referenzkunden
Qualität
Wolfspeed folgt AEC-, IATF-, ISO 9001-, AS9100- und JEDEC-Standards; Produkte werden in rauen Umgebungen getestet und simuliert, um Zuverlässigkeit zu bestätigen. Ein unternehmensweites Qualitätsmanagementsystem mit Manufacturing-, Infrastructure-, Supplier- und Customer-Quality-Teams sowie Failure-Analysis deckt den gesamten Produktlebenszyklus ab.
| Nachweis | Durham, North Carolina |
|---|---|
| ISO 9001 (QMS) | |
| ISO 14001 (EMS) | |
| ISO 45001 (OHS) | |
| ISO 14067 (PCF, verifiziert) | |
| AEC / IATF / JEDEC / AS9100 |
Historie
- 1987
Gründung als Cree, Inc.; über 35 Jahre Unternehmensgeschichte in SiC- und GaN-Technologie
- 2006
Übernahme der Materials-Sparte; Akquisition von INTRINSIC Semiconductor Corporation (mitgegründet von Cengiz Balkas, heutiger EVP Materials)
Aufbau des ersten US-basierten Silicon Carbide Corridor mit End-to-End-Substrat- und Power-Device-Fertigung; Demonstration von 300-mm-SiC-Wafern; Industrieführer bei 200-mm-n-type-SiC-Substraten